反滲透純水設(shè)備中的紫外線殺菌主要是利用254納米波長(zhǎng)的紫外線光。此波長(zhǎng)的紫外線光，即使是在微量的紫外線投射劑量下，也可以破壞一個(gè)細(xì)胞的生命核心——DNA，因 此阻止細(xì)胞再生,喪失再生能力使細(xì)菌變得無害，從而達(dá)到滅菌的效果。象所有其它紫外線應(yīng)用技術(shù)一樣，這種系統(tǒng)的規(guī)模取決于紫外線的強(qiáng)度（照射器的強(qiáng)度和功 率）和接觸時(shí)間（水、液體、或空氣暴露在紫外線下的時(shí)間長(zhǎng)短）。
降低總有機(jī)碳量，反滲透純水設(shè)備在很多高技術(shù)和實(shí)驗(yàn)室裝置中，有機(jī)物會(huì)妨礙高純度水的生產(chǎn)。有很多方法可以把有機(jī)物從水中清除掉，較常用的方法包括使用活性炭和反滲透。波長(zhǎng)較短的 紫外線（185納米）也可以有效地降低總有機(jī)碳量（值的一提的是這些放射器也產(chǎn)生254納米波長(zhǎng)的紫外線，因此可以同時(shí)進(jìn)行消毒）。波長(zhǎng)較短的紫外線具有 更多的能量，因此能夠分解有機(jī)物。紫外線氧化有機(jī)的反應(yīng)過程雖然非常復(fù)雜，其主要原理是通過產(chǎn)生氧化能力很強(qiáng)的自由氫氧，將有機(jī)物氧化成水和二氧化碳。和 臭氧清除系統(tǒng)一樣，這種降解有機(jī)碳的紫外線系統(tǒng)的紫外線放射量是傳統(tǒng)消毒系統(tǒng)的三到四倍。
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