微小氣體流量計 低耐壓型質(zhì)量流量計 氣體流量控制器
AX10FC-L采用無熱漂移,無響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測量原理,可以同時顯示和輸出:瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時,還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID調(diào)節(jié)功能。
顯示器、鍵盤、通訊和多變量輸出均是標準配置,具有手操器/顯示儀/積算儀的全部功能。通過面板操作,可以完成以下內(nèi)容:氣體選擇、單位選擇、量程設(shè)定,報警點設(shè)定,閥門狀態(tài)、自動校準等。
與熱式流量計不同,當使用氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)時,V10FC-L沒有附加的“比熱容”誤差。所以,即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同,也不會影響測量精度。
產(chǎn)品應(yīng)用
產(chǎn)品廣泛用于真空,鍍膜,太陽能,半導(dǎo)體,石油石化,煤炭冶金,制氣配氣,環(huán)保及各種分析儀器等。
產(chǎn)品特點
● 普通低壓型,適于1Mpa以下非腐蝕的清潔氣體
● 無熱漂移,可以忽略的溫移和時漂,*穩(wěn)定性0.1%F.S/年
● 準確度0.8%,量程可在100:1范圍內(nèi)按鍵設(shè)定,無需標定
● 瞬時和累計流量、壓力、溫度可同時顯示和輸出
● 無需預(yù)熱,測量時無響應(yīng)滯后
● 內(nèi)置31種氣體轉(zhuǎn)換系數(shù),無比熱容附加誤差,不影響精度
● 自動累計,分段累計功能
技術(shù)指標 | AX10FC-LC質(zhì)量流量控制器 | AX10FC-LM質(zhì)量流量計 |
量程范圍 | 小量程:5SCCM~10SLM 中量程:10SLM~30SLM 大量程:30SLM~250SLM | |
控制范圍 | 控制器50:1 | 流量計100:1
|
準 確 度 | 流量:±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程 | |
可選±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程 | ||
壓力:0.5%F.S 溫度:±1℃ | ||
線 性 | ±0.5%F.S | |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S | |
響應(yīng)時間 | 100ms | 10ms |
數(shù) 字 量 | RS232/485,MODBUS協(xié)議 | |
模 擬 量 | 0~5V、4~20mA、1~5V | |
供電 | 12V/24V/±15V可選 | |
工作溫度 | 0~50℃ | |
工作壓力 | 工作壓差:0.03~0.5MPa | 工作壓降:<0.01Mpa |
zui大耐壓 | 1MPa | |
電氣連接 | DB15孔 | |
漏 率 | 1×10-9SccsHe | |
溫度系數(shù) | ±0.015%F.S/℃ | |
底座材質(zhì) | 316L | |
密封材料 | 氟橡膠,氯丁橡膠,丁晴橡膠 | |
接 頭 | VCR1/4;swagelokφ6 |