購(gòu)買Holoor激光透鏡配件請(qǐng)認(rèn)準(zhǔn)中國(guó)區(qū)代理商——深圳維爾克斯光電，Holoor DOE配件 激光透鏡配件包括高階激光阻擋模組、激光縮放器、激光電介質(zhì)掩膜、激光聚焦模組和激光擴(kuò)束器。

高階激光阻擋模組

高階激光阻擋模組英文名稱為Module for blocking unwanted spots \ energy。其作用是阻擋不需要的高階激光，而只留下需要的低階激光，這樣的效果是在焦平面上只得到低階激光產(chǎn)生的衍射圖案而過(guò)濾到高階激光產(chǎn)生的衍射圖案，獲得更清晰明了的激光圖形。

高階激光阻擋模組一般應(yīng)用在計(jì)量領(lǐng)域和敏感材料的加工。以下圖的高階激光阻擋模組為例，其一共包含6個(gè)鏡頭和一個(gè)掩膜/光圈在中間。其結(jié)構(gòu)緊湊，可以起到全息、勻化、分束等作用。高階激光阻擋模的設(shè)計(jì)需要根據(jù)客戶激光器的系統(tǒng)和激光透鏡的參數(shù)來(lái)決定。

Holoor DOE配件 激光透鏡配件——高階激光阻擋模組的參數(shù)和功能：

zui大入射激光光束直徑 = 12 [mm]

DOE元件zui大衍射角度 = 5 [deg]

輸入激光光束小于12[mm] 則DOE的衍射角度可大于5 [deg]

模組長(zhǎng)度 = 90 [mm] (不含DOE 和聚焦透鏡)

模組外徑 = 30.5 [mm] (lens diameter = 25.4 [mm])

透鏡材料 = N-SF11

激光縮放器，激光調(diào)諧器（DOE Tuner）

——激光縮放器/激光調(diào)諧器（DOE Tuner）的作用是對(duì)輸入的激光光束大小進(jìn)行微調(diào)，調(diào)節(jié)參數(shù)包括光束形狀、光斑大小、發(fā)散角等物理量。激光縮放器能夠優(yōu)化前端的光束整形器、分束器、焦點(diǎn)控制激光透鏡等產(chǎn)品的效果，其還可以控制入射激光光束的大小。在入射激光光束的大小對(duì)平頂衍射光學(xué)元件(DOE)的應(yīng)用很重要的。

維爾克斯光電供應(yīng)Holoor激光透鏡配件 DOE配件

激光縮放器的特點(diǎn):

波前誤差很小

光束擴(kuò)展器 0.8倍-1.2倍

沒(méi)有需要改變模塊的方向

滑動(dòng)鏡頭

機(jī)械尺寸固定

熔融石英透鏡材料

輸入和輸出通光孔徑= 23(毫米)

模塊的長(zhǎng)度= 120(毫米)

zui大輸入光束大小= 7(毫米)

zui小輸出光束大小= 8.4(毫米)

zui大入射角 0.5°

波長(zhǎng)范圍 266nm - 1064nm

其他波長(zhǎng)要求

激光縮放器在激光光學(xué)系統(tǒng)中的配置：

1. 將激光縮放器置于衍射光學(xué)元件(DOE)之前

目的：微調(diào)輸入激光光束的大小

優(yōu)勢(shì)：

對(duì)于平頂光束整形器——達(dá)到所需的尺寸

對(duì)于激光光束分束器、多焦點(diǎn)激光透鏡和激光渦鏡頭——控制光斑大小

關(guān)鍵參數(shù)：

參數(shù):        放大倍數(shù)< 1    放大倍數(shù)> 1

光斑大小:        增加         減少

分離角度:        沒(méi)有變化         沒(méi)有變化

圖1: 激光縮放模塊放置在衍射光學(xué)元件(DOE)之前

2. 將激光縮放器置于衍射光學(xué)元件(DOE)之后

目的：控制激光輸出光束的發(fā)散,通過(guò)改變衍射光學(xué)元件(DOE)的參數(shù)在80 – 120%的范圍

好處：

對(duì)于多點(diǎn)光束分束器/多激光光斑——可控制分離角

對(duì)于多焦點(diǎn)衍射元件——可控制焦點(diǎn)之間的分離

對(duì)于平頂激光光斑，擴(kuò)散器&其他——可控制圖像的大小

關(guān)鍵參數(shù)：

參數(shù):        放大倍數(shù)< 1    放大倍數(shù)> 1

光斑大小:        增加         減少

分離角度:        增加         減少

圖2: 激光縮放模塊放置在前衍射光學(xué)元件(DOE)和聚焦透鏡(或目標(biāo))之后

激光電介質(zhì)掩膜，激光投影/成像掩膜——精密控制大功率激光的孔徑

激光電介質(zhì)掩膜（Dielectric Projection / Imaging) Mask）的結(jié)構(gòu)是在玻璃基板上鍍有一層很薄的圖案反射涂層。涂層反射激光而通孔傳輸激光光束，因此在近場(chǎng)輸出非常接近通孔形狀的圖案，在遠(yuǎn)場(chǎng)出現(xiàn)衍射模式，但被阻擋的激光光束的衍射模式不會(huì)出現(xiàn)

激光電介質(zhì)掩膜的特性

很小的傳輸孔徑/通孔(~ 10um)

高損傷閾值

低吸收

高反射率在反射部分(>99%)

高透射率(> 95%)在透明的部分

激光傳輸?shù)?/span>(< 0.5%),掩膜部分(@532nm)

很薄的掩膜層(~1um)

針對(duì)單波長(zhǎng)設(shè)計(jì)

激光電介質(zhì)掩膜的典型參數(shù)

外直徑(5 - 76 mm)

孔徑形狀(圓形、方形、其他)

孔徑尺寸(10um – 60mm)

波長(zhǎng)(193 nm - 11000 nm)

應(yīng)用領(lǐng)域：

縮減傳輸區(qū)域，設(shè)置一個(gè)很小的傳輸區(qū)域

控制激光衍射圖案的大小

激光聚焦模組，激光聚焦透鏡模組

對(duì)于需要在焦平面上產(chǎn)生一個(gè)高精度、無(wú)相差的激光圖像應(yīng)用，激光聚焦模組（Focusing Module）無(wú)疑是一個(gè)好的選擇。

標(biāo)準(zhǔn)的激光聚焦模組通常是聚焦高斯光束，沒(méi)有針對(duì)光束整形器優(yōu)化。因此,使用標(biāo)準(zhǔn)的聚焦透鏡的光束整形器/衍射光學(xué)元件經(jīng)常引起平頂光束的畸變/相差現(xiàn)象，這些畸變通常會(huì)發(fā)生在小焦距，短的波長(zhǎng)和大型輸入光束。因此就需要特殊設(shè)計(jì)的聚焦透鏡或模塊。

Holoor的激光聚焦模組能夠很好地解決以上問(wèn)題，模組包含5個(gè)透鏡，可以獲得精準(zhǔn)的的激光衍射圖形，消除畸變和相差。例如對(duì)355nm的激光波長(zhǎng)可整體設(shè)計(jì)聚焦模組，焦距50mm，光斑形狀為正方形。激光聚焦模組的波長(zhǎng)和焦距均可定制。

激光聚焦模組的特點(diǎn)：

無(wú)相差

焦距:50mm

波長(zhǎng)(優(yōu)化):355nm

模塊尺寸：直徑38.5mm

材料: 熔融石英

zui大輸入光束直徑：12mm

zui大平頂光斑的全角度: 18°

可選是否配Objective correction collar

激光擴(kuò)束器，衍射光學(xué)元件擴(kuò)束器，激光透鏡擴(kuò)束器

激光擴(kuò)束器（Expander）是為了修正某些衍射光學(xué)元件(DOE)的輸出參數(shù)，也稱為DOE擴(kuò)束器。激光擴(kuò)束器可以擴(kuò)大或縮小衍射激光光斑的圖形，并設(shè)定衍射光學(xué)元件(DOE)輸出的放大倍數(shù)。

Holoor的激光擴(kuò)束器不同于標(biāo)準(zhǔn)的光束擴(kuò)展器，Holoor考慮了激光透鏡本身的功能和特點(diǎn)，是光束整形、激光分束還是激光焦點(diǎn)控制，從而實(shí)現(xiàn)*的調(diào)制效果和zui小的畸變。

激光擴(kuò)束器的應(yīng)用領(lǐng)域：

• 和衍射光學(xué)元件/激光透鏡配合使用，實(shí)現(xiàn)單個(gè)衍射光學(xué)元件(DOE)元件難以實(shí)現(xiàn)的光束調(diào)制功能
• 和現(xiàn)有的標(biāo)準(zhǔn)，半標(biāo)準(zhǔn)或庫(kù)存的衍射光學(xué)元件(DOE)元件配合使用，使現(xiàn)有的DOE元件滿足新的應(yīng)用要求，從而避免DOE光學(xué)元件的重復(fù)設(shè)計(jì)和縮短交貨時(shí)間
• 另外，還可根據(jù)客戶的系統(tǒng)和要求來(lái)定制。

激光擴(kuò)束器的規(guī)格參數(shù)

材料：熔融石英

透射率:   ≥ 97%

固定放大倍數(shù):        x5 and x10

可與DOE擴(kuò)束器配合使用的DOE:       分束器，勻光器，評(píng)定光束整形器，激光渦透鏡，螺旋相位板、軸棱鏡、圓環(huán)發(fā)生器、多圓環(huán)發(fā)生器

DOE擴(kuò)束器可優(yōu)化:        方形的二維激光平頂光斑 ，例如9x9激光點(diǎn)陣

波長(zhǎng)范圍:        266nm to 1550nm

Holoor的DOE擴(kuò)束器的型號(hào)

維爾克斯光電供應(yīng)Holoor激光透鏡配件 DOE配件