玻璃處理室:Φ100mm、高度130mm
試樣臺(tái)尺寸:Φ40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯
金靶尺寸:Φ58mm
真空系統(tǒng):直聯(lián)旋片真空泵2L/S
真空檢測:皮氏計(jì)
真空保護(hù):20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空
工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)主要性能指標(biāo):
玻璃處理室:Φ100mm、高度130mm
試樣臺(tái)尺寸:Φ40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯
金靶尺寸:Φ58mm
真空系統(tǒng):直聯(lián)旋片真空泵2L/S
真空檢測:皮氏計(jì)
真空保護(hù):20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空
工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)
玻璃處理室:Φ100mm、高度130mm
試樣臺(tái)尺寸:Φ40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯
金靶尺寸:Φ58mm
真空系統(tǒng):直聯(lián)旋片真空泵2L/S
真空檢測:皮氏計(jì)
真空保護(hù):20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空
工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)
玻璃處理室:Φ100mm、高度130mm
試樣臺(tái)尺寸:Φ40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯
金靶尺寸:Φ58mm
真空系統(tǒng):直聯(lián)旋片真空泵2L/S
真空檢測:皮氏計(jì)
真空保護(hù):20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空
工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)
玻璃處理室:Φ100mm、高度130mm
試樣臺(tái)尺寸:Φ40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯
金靶尺寸:Φ58mm
真空系統(tǒng):直聯(lián)旋片真空泵2L/S
真空檢測:皮氏計(jì)
真空保護(hù):20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空
工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)