氣體質(zhì)量流量計(jì)(MF5000系列)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
MF5000系列氣體質(zhì)量流量計(jì)是矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司結(jié)合微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片技術(shù)和計(jì)算機(jī)自適應(yīng)技術(shù)歷經(jīng)多年,開發(fā)出的智能化全電子式氣體質(zhì)量流量?jī)x表,主要技術(shù)性能處于水平,具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點(diǎn);針對(duì)工業(yè)環(huán)境,融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設(shè)計(jì);且具有多種信號(hào)輸出,能通過通訊接口實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能;本產(chǎn)品在性能、安裝和維護(hù)高精度MF5003,5006,5008氫氣氮?dú)饪諝饬髁勘?/strong>產(chǎn)品特點(diǎn):
-采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長(zhǎng)技術(shù),傳感器的尺寸縮小到了微米量級(jí),使該流量計(jì)的靈敏度大大提高。
-在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使該流量計(jì)的量程比(范圍度)大大提高。
-傳感器零點(diǎn)穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計(jì)有*的改善。
-結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù),使流量計(jì)重復(fù)性好,實(shí)現(xiàn)了計(jì)量準(zhǔn)確可靠。
-技術(shù)進(jìn)步帶來的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化,使流量計(jì)較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表,壓力損失大幅度減小,*地降低了能源消耗。
-采用LCD顯示“瞬時(shí)流量”和“累計(jì)流量”,清晰直觀,讀數(shù)方便。
-產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計(jì)技術(shù),具有更高抗*力。
-流量計(jì)帶有RS485通訊模塊,配合上位計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理。
-可以選配4~20mA標(biāo)準(zhǔn)電流信號(hào)輸出。
高精度MF5003,5006,5008氫氣氮?dú)饪諝饬髁勘?/strong>技術(shù)參數(shù):
精確度±(1.5+0.2FS)%
測(cè)量范圍 0.01~65m/sec
測(cè)量管徑 1~19 mm
使用環(huán)境溫度:-20~65
顯示瞬時(shí)流量;累計(jì)流量
輸出模式 4~20mA;RS485;RS232;0~5V;脈沖
校準(zhǔn)條件 20oC;101.325 kPa.
其他說明
型號(hào) | 通徑 (mm) | 接口 (inch) | L | H | W | d | a | b | c |
MF5003 | 3 | 1/8" | 85 | 124 | 35 | Φ3 | 25 | 16 | 50 |
MF5006 | 6 | 1/4" | 95 | 127 | 35 | Φ6 | 25 | 18 | 50 |
MF5008 | 8 | 3/8" | 105 | 134 | 35 | Φ8 | 25 | 22 | 50 |
MF5012 | 12 | 1/2" | 116 | 137 | 40 | Φ12 | 30 | 25 | 50 |
MF5019 | 19 | 3/4" | 152 | 149 | 40 | Φ19 | 30 | 40 | 70 |
型號(hào) | 通徑 (mm) | 接口 (inch) | zui大工作壓力 (MPa) | 測(cè)量范圍 | |||
sccm | SLPM | SCFM | NCMH | ||||
MF5003 | 3 | 1/8" | 3.0 | 15-1500 | 0.15-15 | ||
MF5006 | 6 | 1/4" | 3.0 | 0.5-50 | 0.02-2 | 0.035-3.5 | |
MF5008 | 8 | 3/8" | 3.0 | 1.2-120 | 0.045-4.5 | 0.075-7.5 | |
MF5012 | 12 | 1/2" | 3.0 | 3-300 | 0.1-10 | 0.17-17 | |
MF5019 | 19 | 3/4" | 3.0 | 10-1000 | 0.35-35 | 0.6-60 |