高純水設備電子行業(yè)超純水設備適用于集成電路芯片、單晶硅、顯像管、液晶顯示器、計算機硬盤、線路板等工藝所需的純水和高純水設備.在嚴格執(zhí)行ISO-9001質量體系標準的前提下,采用世界上*的反滲透膜元件.壓力容器和高壓泵、配以合理而又高效的前處理設備及后處理設備,使產品出水符合各類電子行業(yè)生產標準的超純水.控制系統選用PLC或計算機DCS程序控制,可實現自動起停、加藥及沖洗,自動監(jiān)測各種運行參數,并可實現運行參數的儲存及打印 廣泛適用于: 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路 LCD、EL、PDP、TFT、玻殼、顯像管 超純材料和超純化學試劑 光導纖維、光盤。
一、應用范圍概述:電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗 電子管生產 電子管陰極涂敷碳酸鹽配液 顯像管和陰極射線管生產配料用純水黑白顯像管熒光屏生產 玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水 液晶顯示器的生產 屏面需用純水清洗和用純水配液 晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制集成電路生產中高純水清洗硅片 硅片純水 光伏硅材料DI超純水設備-硅圓生長/切片清洗高純水 硅材料單晶硅DI
二、典型工藝流程
預處理系統-反滲透系統-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象 (≥18MΩ.CM)(傳統工藝)
預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)
預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節(jié))-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥17MΩ.CM) (新工藝)
預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)(新工藝)
處理系統-反滲透系統-中間水箱-純水泵-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)(傳統工藝)
三、達到標準:
純化水標準,注射水標準 顯像管、液晶顯示器用純水水質(經驗數據)、集成電路用純水水質、國家電子級純水標準、美國SEMI標準
四、設備特點
為滿足用戶需要,達到符合標準的水質,盡可能地減少各級的污染,延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量.在工藝設計上,取達國家自來水標準的水為源水,再設有介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等。 系統中水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時在工藝選材上采用*和客戶要求相統一的方法,使設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。