氮?dú)夤?/strong>技術(shù)參數(shù)
內(nèi)腔尺寸 W600mm×D600mm×H600mm
材質(zhì) 外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼,內(nèi)箱采用SUS304不銹鋼
溫度范圍 RT+10-300℃
溫度分辨率 0.1℃
溫度波動(dòng)度 <±0.5℃
溫度均勻度 ≤±1.5%
潔凈度 class 100,設(shè)備采用無(wú)塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境
電源及總功率 AC 380V±10% / 50HZ 總功率約15.0KW
升溫速度 5-8℃/min
降溫速度 降溫5℃/min或自定義
氧含量
高溫狀態(tài)氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量
低溫狀態(tài)氧含量:≤ 50ppm +氣源氧含量
氮?dú)夤?/strong>概述
無(wú)氧化烤箱箱體內(nèi)裝有氧含量分析儀,全稱檢測(cè)氧含量,可設(shè)置超標(biāo)報(bào)警功能。排氣口采用自動(dòng)風(fēng)門設(shè)計(jì)以達(dá)到強(qiáng)烈的循環(huán)效果及快速降溫,進(jìn)氣口加附N2流量計(jì)控制進(jìn)氣量。
翅片式水冷散熱器,冷卻水通過散熱器快速帶走更多的熱量,使得箱內(nèi)溫度快速下降,縮短降溫時(shí)間,提高生產(chǎn)效率。