常規(guī)意義上的等離子體態(tài)是中性氣體中產(chǎn)生了相當(dāng)數(shù)量的電離。當(dāng)氣體溫度升高到其粒子的熱運(yùn)動(dòng)動(dòng)能與氣體的電離能可以比擬時(shí)，粒子之間通過碰撞就可以產(chǎn)生大量的電離過程。
并非只有*電離的氣體才是等離子體，但需要有足夠高電離度的電離氣體才具有等離子體性質(zhì)。當(dāng)體系中“電性”比“中性”更重要時(shí)，這一體系可稱為等離子體。
低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會(huì)產(chǎn)生等離子，而這種放電現(xiàn)像就是通過某種機(jī)制使一個(gè)或者多個(gè)電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質(zhì)，這種媒質(zhì)就稱為電離氣體，如果外電場產(chǎn)生了電離氣體，傳導(dǎo)電流就形成了，這種現(xiàn)象就被稱為氣體放電。而這種凈化設(shè)備的技術(shù)，就是工業(yè)廢氣處理的一種原理。
