主要特性與技術(shù)指標(biāo)
電流－電壓測量功能
- 0.1 fA – 1 A 和 0.5 µV – 200 V 測量范圍
- 點(diǎn)測量和掃描測量功能
- 脈沖點(diǎn)測量和掃描測量，小脈寬達(dá) 500 µs
- ASU（自動(dòng)傳感和開關(guān)單元）可以與 HRSMU 配合使用，提供 0.1 fA 的測量分辨率和 SMU/AUX 路徑切換
EasyEXPERT group+ 軟件
- 可以在用戶 PC 上提供表征環(huán)境
- 使用鍵盤和鼠標(biāo)，通過直觀的圖形用戶界面（GUI）進(jìn)行操作
- 多種測量模式，快速設(shè)置和執(zhí)行測量（應(yīng)用測試、典型測試和快速測試）
- 圖形顯示和自動(dòng)分析功能，能夠生成數(shù)據(jù)并導(dǎo)入 Excel 和圖像以便分析和報(bào)告
E5270B 硬件
- 測量模塊擁有多達(dá) 8 個(gè)插槽，可配置，可升級
- 可選擇高分辨率 SMU（HRSMU）、中等功率 SMU（MPSMU）和大功率 SMU（HPSMU）進(jìn)行配置。HRSMU 支持選件 ASU
- 高分辨率和高速模數(shù)轉(zhuǎn)換器（ADC）可以用于所有已安裝的模塊
- 主機(jī)中配備有源接地單元（GNDU），以施加 0 V 電壓和吸收高達(dá) 4 A 的電流
描述
Keysight E5270B 精密型 IV 分析儀是能夠?qū)Ω鞣N材料和器件進(jìn)行電流－電壓表征的完整解決方案。E5270B 支持多個(gè) SMU（電源/監(jiān)測單元），能夠執(zhí)行電壓/電流供應(yīng)和電壓/電流測量。其具有的電流測量性能，可以測量 0.1 fA 的電流。其模塊化體系結(jié)構(gòu)使您可以利用 8 個(gè)插槽配置或升級 SMU 模塊。圖形用戶界面的 EasyEXPERT group+ 表征軟件可以安裝在您的 PC 上，以支持表征中要求的所有任務(wù)，例如測量設(shè)置和數(shù)據(jù)分析。SMU 全面的測量功能與 GUI 表征軟件強(qiáng)強(qiáng)組合，使 E5270B 成為表征和測試器件、材料、半導(dǎo)體、有源/無源器件或幾乎任何其他類型電子器件的理想解決方案，并且提供優(yōu)異的測量可靠性和效率。
Keysight EasyEXPERT group+ 軟件支持在整個(gè)表征過程中（從測量設(shè)置和執(zhí)行，到結(jié)果分析和數(shù)據(jù)管理），通過交互式的手動(dòng)操作或借助半自動(dòng)晶圓探頭的自動(dòng)操作，在整個(gè)晶圓上實(shí)施高效和可重復(fù)的器件表征。EasyEXPERT group+ 配備了許多易于使用的測量（應(yīng)用測試），使您可以快速而輕松執(zhí)行電流－電壓表征，并可以選擇在每次測量結(jié)束后將測試條件和測量數(shù)據(jù)自動(dòng)保存到*的內(nèi)置數(shù)據(jù)庫（工作區(qū)）中，以確保不會遺失重要的信息以及在日后能夠重復(fù)執(zhí)行該測量。憑借這些全面的測量功能，Keysight E5270B 提供了一款完整的電流－電壓表征解決方案。
除了用作分析儀之外，E5270B 還可以作為系統(tǒng)組件 SMU 在機(jī)架和插拔式（stuck）測試系統(tǒng)中使用。它為電流－電壓測量提供了出色的可擴(kuò)展性和同類產(chǎn)品中較優(yōu)異的測量精度。您可以用 FLEX 命令集對它進(jìn)行遠(yuǎn)程控制，該命令集支持強(qiáng)大的測量功能。
