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旋風等離子清洗機

參考價	￥ 30
訂貨量	≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
品牌
型號
所在地香港特別行政區(qū)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時間2020/1/8 12:48:51
訪問次數(shù)605

產(chǎn)品標簽:

旋風等離子清洗機性能旋風等離子清洗機型號旋風等離子清洗機款式旋風等離子清洗機用途供應旋風等離子清洗機

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公司介紹主營產(chǎn)品

First-Nano System GmbH

2003年創(chuàng)立于德國德累斯頓工業(yè)大學（Dresden University of Technology）

2008年香港成立德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司

2015年上海成立德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司中國代表處，負責中國區(qū)業(yè)務

德國韋氏納米系統(tǒng)成立以來，一直為客戶想的更多，Thinking more ?。?！

產(chǎn)品范圍：

薄膜沉積/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma
- Wet: Megasonic, Brush, SC1, SC2, Piranha, O3DIW
其他/Other,
Device Testing System for Space Simulation, Heated Platens, Plasma Sources, Resist Stripping Systems

展開顯示更多內(nèi)容

清洗機，分析儀

產(chǎn)品簡介在線詢價

旋風等離子清洗機等離子傳感器：雙等離子強度傳感器（申請中）監(jiān)測現(xiàn)場等離子源和遠程等離子源。等離子強度實時顯示在LCD觸摸屏上。

旋風等離子清洗機產(chǎn)品信息

旋風等離子清洗機

操作方法：自動配方執(zhí)行；自動作業(yè)順序執(zhí)行；亦可手動操作。
等離子傳感器：雙等離子強度傳感器（申請中）監(jiān)測現(xiàn)場等離子源和遠程等離子源。等離子強度實時顯示在LCD觸摸屏上。
*工藝控制能力：壓力傳感器、溫度傳感器、MFC氣體流量計、雙等離子強度傳感器、自動阻抗匹配。
腔體材料：鋁法蘭，石英腔體
石英腔體尺寸：內(nèi)徑：110mm；外徑120mm；深度280mm
樣品架：2mm厚高純度石英板
旋風等離子清洗機射頻天線：外部射頻電極和天線設計減少了內(nèi)部金屬電極在等離子清洗機中發(fā)現(xiàn)的金屬濺射問題。
射頻功率：13.56mhz高頻射頻電源，自動原位等離子體源的阻抗匹配。射頻功率有兩種選擇：0-75watt和0-150watt。13.56MHz的射頻電源產(chǎn)生比兆聲電源產(chǎn)生高濃度等離子體。
工藝氣路：高達三個質(zhì)量流量控制氣體輸入（0 ~ 100sccm）。一個額外的排氣口。¼英寸世偉洛克壓縮接頭連接器。
用戶界面：7寸電阻式觸摸屏，觸摸的手指，沒有手寫筆的要求。
軟件：總共20個可定制的配方。每個工藝多達三個清理步驟。