復(fù)合型壓力傳感器傳感器是專(zhuān)門(mén)為流體力學(xué)實(shí)驗(yàn)要求非常小的安裝尺寸而設(shè)計(jì)的，它利用硅–硅鍵合MEMS微機(jī)械加工技術(shù)使得集成硅膜片有效尺寸小，固有響應(yīng)頻率高，彈性力學(xué)特性?xún)?yōu)良，穩(wěn)定可靠，對(duì)流場(chǎng)影響小，精度高于壓電動(dòng)態(tài)壓力傳感器，成為動(dòng)壓測(cè)試中壓電壓力傳感器的換代產(chǎn)品在爆轟動(dòng)態(tài)、空氣動(dòng)力學(xué)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)中都*本類(lèi)壓力傳感器,可生產(chǎn)探針形、扁平薄餅形（1.5-4mm）。
復(fù)合型壓力傳感器
其中的差壓敏感元件采用一體化結(jié)構(gòu)，耐靜壓值高，堅(jiān)固、可靠。高、低壓端均采用隔離膜片保護(hù)，因此，兩個(gè)壓腔均可接觸具有一定腐蝕性和導(dǎo)電性的流體介質(zhì)，被測(cè)差壓通過(guò)隔離膜片和充灌的硅油傳遞到硅壓敏元件上，實(shí)現(xiàn)了差壓的精確測(cè)量。敏感芯片采用美國(guó)生產(chǎn)的高精度和高穩(wěn)定性的擴(kuò)散硅壓阻式壓力敏感芯片。產(chǎn)品經(jīng)美國(guó)MAXIM公司的傳感器芯片1452進(jìn)行計(jì)算機(jī)線性校正和溫度補(bǔ)償，具有高可靠性。
采用雙列直插封裝結(jié)構(gòu)。通過(guò)激光修正電阻實(shí)現(xiàn)大范圍的溫度補(bǔ)償，以及調(diào)節(jié)差動(dòng)放大器的增益來(lái)校正傳感器的壓力靈敏度變化。應(yīng)用于醫(yī)療儀器，海拔高度和空速，過(guò)程控制，工廠自動(dòng)化，真空檢測(cè)，手持校正儀，檢漏，睡眠窒息監(jiān)測(cè)，*/呼吸器，風(fēng)道流量等方面。
◆技術(shù)參數(shù)
量 程： 0～-1,-10,-50,-100KPa, -100KPa,-50KPa～0，綜合精度：0.1%FS、0.2%FS、0.5%FS
輸出信號(hào)： 4～20mA(二線制)、0～5V、1～5V、0～10V(三線制)
供電電壓： 24DCV(9～36DCV) 介質(zhì)溫度： -20～85℃ 環(huán)境溫度：常溫(-20～85℃)
負(fù)載電阻： 電流輸出型：大800Ω；電壓輸出型：大于50KΩ
絕緣電阻：大于2000MΩ/50VDC 響應(yīng)時(shí)間：＜1ms密封等級(jí)： IP65 *穩(wěn)定性能： 0.1%FS/年
振動(dòng)影響：在機(jī)械振動(dòng)頻率20Hz～1000Hz內(nèi)，輸出變化小于0.1%FS
