美國(guó)Aalborg高精度質(zhì)量流量計(jì)
設(shè)計(jì)特點(diǎn)
-剛性金屬結(jié)構(gòu)
-流量控制范圍從0 開(kāi)始到10 sccm 直到0到100 slpm
-zui大壓力500 psig (34.5 Bar)
-0-5伏和4-20mA信號(hào)
-泄漏率低于1 x 10-9 smL/sec 的 helium
-精度±1%
-電路保護(hù)
-計(jì)算匯總功能
美國(guó)Aalborg高精度質(zhì)量流量計(jì)
主要技術(shù)參數(shù)
精度:1%FS
重復(fù)性: ±0.2% 全量程;
響應(yīng)時(shí)間: 1到2 秒( 流量不同略有差別)
溫度系數(shù): 0.1% /FC
壓力系數(shù): 0.01% 全量程/ 0.07 bar (1 psi);
可選氣壓:1.73 bars (25 psig).
zui大氣壓: 70 bars (1000 psia).
氣體和環(huán)境溫度: 5C to 50C (41F to 122F).
信號(hào)輸出: Linear 0-5 Vdc (3000 歐姆 低阻抗負(fù)載); 4-20 mA 供選 (500 歐姆環(huán)阻).zui大噪音 20mV 峰對(duì)峰.
輸入電源: zui大15Vdc, 450 mA;
材質(zhì):316不銹鋼,416不銹鋼, Viton7 O形圈;Neoprene7或 Kalrez7 O形圈可供選擇.