日本fuji蝶閥MBV-ADⅡ-M4-ARJ系列
全封閉和電導(dǎo)率控制閥，使用高性能和高度通用的伺服電機(jī)系統(tǒng)。
可以執(zhí)行各種操作模式，例如*關(guān)閉和*打開的閥盤，定位到任何位置以及可變的打開和關(guān)閉速度。
特征
一臺(tái)設(shè)備可以*關(guān)閉（*關(guān)閉）并調(diào)節(jié)電導(dǎo)。
它可以從壓差狀態(tài)（真空-大氣壓）打開。
由于采用了直接連接到電動(dòng)機(jī)和高精度齒輪頭的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，因此位置精度的再現(xiàn)性非常好。
取決于控制方法，諸如開度調(diào)節(jié)和速度調(diào)節(jié)的各種操作模式是可能的。（注1）
它適用于大流量排氣，并具有出色的耐用性。是FPD / OLED相關(guān)設(shè)備（涂布機(jī)系統(tǒng)，層壓設(shè)備等）的理想選擇。
閥體的位置可以通過角度顯示指示器從外部確認(rèn)。
通過添加可選的雙重自動(dòng)壓力控制系統(tǒng)控制器進(jìn)行控制，它也可以用作自動(dòng)壓力控制閥。
日本fuji蝶閥MBV-ADⅡ-M4-ARJ系列
MBV-ADⅡ-M4-ARJ系列的主要規(guī)格
| 類型 | M B V-A D II-M 4（三菱電機(jī)/ MR-J 4系列） M B V-AD II-M 4 Br（電機(jī)規(guī)格：帶制動(dòng)器） |
|---|---|
| 口徑 | 50 A，65 A，80 A，100 A，150 A，200 A，250 A |
| 泄漏量 | 1 x 10 -9 Pa·m 3 / s以下 |
| 使用面積 | 10 5?10 -6帕 |
| 盤封* 1 | EPDM O型圈 |
| 軸封* 2 | EPDM O型圈 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | 蘇S 304 |
| 指標(biāo) | 帶有角度的外部顯示指示器 |
| 包含伺服放大器 | MR-J4-A-RJ（對(duì)應(yīng)于定位模式） |
| 選項(xiàng) | 開/關(guān)檢測(cè)光電傳感器 |
* 1 * 2 E PDM是標(biāo)準(zhǔn)配置，但可以根據(jù)應(yīng)用選擇其他材料。
Viton，F(xiàn)F KM = Perflo等*為了保持該閥的性能，必須定期更換閥體O形圈并定期給閥密封件涂脂。
系統(tǒng)配置
[附帶的伺服放大器尺寸圖] MR-J 4-20A-RJ（附帶50A-150A）
關(guān)于非標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)支持
MBV-JISADⅡ-M4系列尺寸圖
MBV-ISO AD II -M4系列尺寸圖
MBV-NW AD II -M4系列尺寸圖
MBV-JISADⅡ-M4系列尺寸圖
MBV-ISO AD II -M4系列尺寸圖
MBV-NW AD II -M4系列尺寸圖
