真空調(diào)節(jié)器是一種復(fù)合式調(diào)節(jié)器, 當(dāng)系統(tǒng)真空管路的真空度增高時(shí), 真空室的真空度隨之增高, 作用在上膜片上的壓力差增大,上膜片克服彈簧的阻力,將通氣螺栓的通氣孔打開,真空進(jìn)入緩氣室,緩氣室的氣螺栓孔徑與截流環(huán)孔徑相配,使得下膜片帶著重錘緩慢上移,大氣從重錘開啟的縫隙入真空管路。
類型1:真空調(diào)節(jié)器
真空調(diào)節(jié)器,如Equilibar EVR系列真空調(diào)節(jié)器,通過真空泵和過程之間的節(jié)流來控制過程真空。這種類型,通常被稱為真空調(diào)節(jié)器,實(shí)際上是背壓調(diào)節(jié)器,因?yàn)閴毫刂圃谌肟谔?。調(diào)節(jié)器關(guān)閉以增加系統(tǒng)壓力(或降低真空水平)。
在右邊的簡(jiǎn)化示例中,真空調(diào)節(jié)器使用彈簧加載隔膜來控制真空壓力。過程真空位于隔膜的下側(cè),大氣壓力位于頂部。彈簧向上拉以提供負(fù)設(shè)定點(diǎn)偏差。當(dāng)過程壓力變得太低(真空太強(qiáng))時(shí),隔膜降低,限制過程和真空供應(yīng)泵之間的氣流,從而降低真空水平。當(dāng)壓力增加到設(shè)定點(diǎn)以上(真空度太低)時(shí),柱塞上升并且過程和供應(yīng)泵之間的氣流增加,從而增加真空水平。
類型2:真空斷路器和真空釋放調(diào)節(jié)器
另一種類型的真空控制器使環(huán)境空氣進(jìn)入真空系統(tǒng)以控制真空壓力。這種類型的調(diào)節(jié)器通常稱為真空斷路器或真空釋放調(diào)節(jié)器。這些調(diào)節(jié)器實(shí)際上是一種減壓調(diào)節(jié)器,因?yàn)閴毫刂圃诔隹谔?。調(diào)節(jié)器打開以增加過程壓力(或降低真空度)。
真空釋放調(diào)節(jié)器通常使用彈簧加載的隔膜,其上側(cè)具有大氣壓力并且在下側(cè)處理真空壓力。在右邊的這個(gè)簡(jiǎn)化示例中,彈簧實(shí)際上將隔膜向上拉以提供負(fù)設(shè)定點(diǎn)壓力。當(dāng)過程壓力變得太低(真空度太高)時(shí),柱塞迫使閥座向下,允許更多的外部空氣進(jìn)入過程。隨著過程壓力增加(真空壓力增加)朝向設(shè)定點(diǎn),柱塞再次上升以限制空氣的流入。