日本ACE差壓式大流量控制器DPFM/DPFC500系列
日本ACE差壓式大流量控制器DPFM/DPFC500系列
1. 1。可以
測量小尺寸和大流量。在湍流中測量壓差,流路直徑小,流路長度短。
對于傳統(tǒng)的熱力類型,湍流是層流的,因此無法在大流量下實(shí)現(xiàn)小型化。
EX)500SLM:流路直徑1/2“流路直徑5”
2。流量計
通過測量超低壓力損失和微小壓差,以幾乎與管道阻力相同的高速響應(yīng)。
目標(biāo)氣體流量/壓力(目標(biāo))
流量:1000SLM至5000SLM
壓力:大氣壓至0.99MPa
標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)壓力:0.2MPa,0.5MPa
目標(biāo)氣體:N2,空氣,H2,CH4,Ar,CO2,等氫Max1000SLM
目標(biāo)氣體 | N2,Ar,空氣,H2等(可咨詢) |
供給(入口)壓力 | 0.4-0.7MPaG |
下游(出口)壓力 | 相對于供給壓力為-0.3MPa以下 |
滿量程流量(1) | 1000、2000、3000 SLM |
切 | 設(shè)定低于2%FS時控制閥關(guān)閉 |
準(zhǔn)確性 | FS S±3%以內(nèi) |
重復(fù)性 | ±0.5%FS |
使用范圍(精度保證) | 0至50°C(10至40°C:保證精度),無凝結(jié) |
反應(yīng)性 | 在2秒鐘內(nèi)設(shè)置值(典型值) |
沖突 | 1英寸SWL |
耐壓 | 0.99兆帕 |
電源電壓 | DC24V±10%,200mA |
外部輸入 * C / C * SET | *閉合:控制,打開:關(guān)閉 * 0-5VDC |
外部輸出 *警報 * OUT | *報警時: 與關(guān)閉的設(shè)定流量之差:上限和下限(9.9%FS) 主機(jī)異常(電源電壓) * 0至5VDC |
氣源壓力(用于閥門驅(qū)動) | 0.4-0.7MPaG |
供氣競賽 | ф4毫米一鍵式 |
外密封 | 1x10 -7 Pa ? m 3 /秒(He) |