電動位移臺選購指南 Feinixs系列產(chǎn)品命名規(guī)則 位移控制基本概念
FMSS60P-20
詳細(xì)規(guī)格參數(shù)
 | (1) 迷你臺，結(jié)構(gòu)緊湊 (2) 壓電電機(jī) (3) 有真空版本 (4) 方臺，可組裝XY二維位移臺 |
| 產(chǎn)品型號 | FMSS60P-20 |
| 行程（mm) | 20 |
| 負(fù)載(Kg） | 2 |
| 分辨率（um) | 0.1 |
| 最小運(yùn)動增量(um)【1】 | 0.2 |
| 單向重復(fù)定位精度/保證值*(um) | ±0.2 |
| 單向重復(fù)定位精度/典型值*(um) | |
| 雙向重復(fù)定位精度/保證值*(um) | ±0.5 |
| 雙向重復(fù)定位精度/典型值*(um) | |
| 準(zhǔn)確度/保證值*(um) | ±3 |
| 準(zhǔn)確度【2】/典型值*(um) | |
| 速度（mm/s) | 5 |
| 直線度(um) | 5 |
| 平整度(um) | 5 |
| Yaw-偏擺(")【3】 | 10 |
| Pitch俯仰（"） | 10 |
| 持續(xù)推力（N) | 6 |
| 峰值推力（N） | 6 |
| 外形尺寸(mm) | 60x60x23 |
| 臺面尺寸（mm) | 60x60 |
| [1]：最小運(yùn)動增量不等同于分辨率，最小運(yùn)動增量是指運(yùn)動系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動的最小量。一般來說，系統(tǒng)分辨率遠(yuǎn)小于最小運(yùn)動增量?？紤]傳動結(jié)構(gòu)和編碼器對系統(tǒng)誤差的影響，直線電機(jī)位移臺與步進(jìn)電機(jī)位移臺相比，其最小運(yùn)動增量更加接近于分辨率。 [2]：準(zhǔn)確度和重復(fù)定位精度是容易混淆的概念。一般采用打靶描述可以容易的區(qū)分這兩個概念。 [3]：只有直線度、平行度、Pitch、Yaw等參數(shù)都達(dá)到高水準(zhǔn)要求，運(yùn)動系統(tǒng)的準(zhǔn)確度、重復(fù)定位精度才能達(dá)到高精度水平。也就是說，客戶一般只需要考慮準(zhǔn)確度與重復(fù)定位精度是否滿足應(yīng)用需求就可以選擇到滿意的位移平臺。當(dāng)客戶對平臺運(yùn)動有更高要求時，非軸向參數(shù)是需要考慮的。 *：典型值和保證值的區(qū)別見技術(shù)指南 | |
產(chǎn)品特性：
 | 壓電腿直接與傳動軸摩擦傳動。壓電陶瓷運(yùn)動腿與傳動軸接觸并有一定的預(yù)緊力，當(dāng)運(yùn)動腿開始運(yùn)動時，腿與傳動軸總是處于機(jī)械接觸中。 1、快速響應(yīng)和整定 2、高強(qiáng)度 3、強(qiáng)大的驅(qū)動力 |
| G1等級交叉滾子導(dǎo)軌 | |
 | 高精度光柵尺作為閉環(huán)控制編碼器 |
