本電子級(jí)清潔管控系統(tǒng)可以對各類液體的顆粒度、清潔度、污染物進(jìn)行管理、控制、監(jiān)測和分析;設(shè)備及零部件沖洗顆粒污染物的管控及測試,純凈溶液和電子級(jí)用水中不溶性微粒的管控及測試,電子化學(xué)品中顆粒物控制及中小試評(píng)價(jià)。
本方案涵蓋控制系統(tǒng)、清潔系統(tǒng)、動(dòng)力系統(tǒng)和監(jiān)測系統(tǒng)等單元,利用動(dòng)力系統(tǒng)單元將所需清潔物質(zhì)通過清潔系統(tǒng)單元進(jìn)行循環(huán)清潔處理,利用監(jiān)控系統(tǒng)和控制系統(tǒng),進(jìn)行相關(guān)的調(diào)整并循環(huán)自凈,最終達(dá)到相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。
本系統(tǒng)采用英國普洛帝“光阻測量顆粒”和“精密微納米顆粒管控”兩項(xiàng)技術(shù),可根據(jù)用戶的要求,內(nèi)置用戶所需多種管控工藝,實(shí)現(xiàn)多粒徑大小及數(shù)量的管控和檢測。
經(jīng)典第八代應(yīng)用軟件系統(tǒng)平臺(tái),集結(jié)初濾、精濾、終濾、清洗、檢測、報(bào)警、校準(zhǔn)和標(biāo)定各模塊可實(shí)現(xiàn)方便的全自動(dòng)化設(shè)定和操作,內(nèi)置判定標(biāo)準(zhǔn)、檢測曲線、模塊調(diào)試和聲光報(bào)警等。
與智能系統(tǒng)公司合作,選擇其優(yōu)秀的智能監(jiān)控級(jí)技術(shù)型工控機(jī),系統(tǒng)穩(wěn)定。
具有標(biāo)準(zhǔn)串行RS232口或RS485口、LAN口、USB口等,可外接普洛帝智能工廠等自動(dòng)化管理系統(tǒng)。
可按英標(biāo)、美標(biāo)、日標(biāo)、中標(biāo)等標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行標(biāo)定、校準(zhǔn)。
提供校準(zhǔn)物質(zhì)(GBW),協(xié)助客戶每年一次的校準(zhǔn)計(jì)量工作。
提供行業(yè)的“OIL17服務(wù)星” 簽約式服務(wù),365天無憂使用。
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):
GB/T 11446.1-2013 電子級(jí)水
GBT 11446.3-2013 電子級(jí)水測試方法通則
GB/T 11446.9 電子級(jí)水中微粒的儀器測試方法
SJ/T 11638-2016 電子化學(xué)品中顆粒的測試方法
GBT 29024.2-2016 粒度分析 單顆粒的光學(xué)測量方法 第2部分:液體顆粒計(jì)數(shù)器光散射法
ISO 21501-2-2007 Determination of particle size distribution - Single particle light interaction methods - Part 2: Light scattering liquid-borne particle counter
ISO 14644-9-2012 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
ISO 14644-10-2014 Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10. Classification of surface cleanliness by chemical concentration
JIS K0554-1995 高純度水中微粒子濃度的檢測方法
JIS B9925-2010 光散亂式液中粒子計(jì)數(shù)器-校正方法及び検証方法
技術(shù)參數(shù):
訂制要求:各類液體檢測要求;
傳 感 器:第八代雙激光窄光檢測器(精確、穩(wěn)定、迅速);
測試軟件:CCACS2.0分析測試軟件集成版;
控制方式:集成式工控機(jī)控制或工業(yè)PC 控制;
檢測方式:中國國標(biāo)、電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、日本標(biāo)準(zhǔn)、美國標(biāo)準(zhǔn)、ISO標(biāo)準(zhǔn);
測試標(biāo)定:CN-PSL乳膠球計(jì)量、CN-ISO標(biāo)定計(jì)量、CN-NIST標(biāo)定計(jì)量;
操作方式:彩色液晶觸摸屏或鍵盤鼠標(biāo)操作;
管控精度:0.05、0.1、0.2、0.3、0.5、0.7、.08、1μm,2μm,3μm,5μm,10μm;
管控檢測:0.05~10μm(根據(jù)要求和傳感器);
管控通道:1000 個(gè),可任意4、6、8、16、32、64、128個(gè)尺寸范圍顆粒計(jì)數(shù)值;
管控流速:5mL/min~1500mL/min;
流速精度:<±1%;
管控體積:100mL~100L;
測試粘度:離線0~99厘斯;加壓可達(dá)500厘斯;
流體溫度:0℃~80℃;
環(huán)境溫度:-15℃~50℃;
接口方式:RS232或R485轉(zhuǎn)USB或USB接口 ;可定制尺寸;
模擬輸出:4mA~20mA;串口協(xié)議;MODBUS協(xié)議;
報(bào)告方法:顆粒數(shù)/ml及等級(jí);
輸入電壓:100V~265V,50Hz~60Hz;
售后服務(wù):普洛帝中國服務(wù)中心/軍計(jì)測。
鑒定機(jī)構(gòu):西安中特計(jì)量檢測研究院
售后服務(wù):普洛帝服務(wù)中心