產(chǎn)品背景
在薄膜生產(chǎn)過(guò)程中，薄膜的厚度控制成為了生產(chǎn)的難題，傳統(tǒng)的薄膜生產(chǎn)過(guò)程中，膜厚的檢測(cè)依靠經(jīng)驗(yàn)豐富的師傅用千分尺進(jìn)行測(cè)量，在一條24小時(shí)不停歇的生產(chǎn)線(xiàn)上，需要配備幾個(gè)人對(duì)其進(jìn)行檢測(cè)，這樣不僅加大了企業(yè)的人力物力，而且人工測(cè)量的精度也很難得到保障。隨著現(xiàn)代薄膜制造業(yè)對(duì)產(chǎn)品的要求日益嚴(yán)格，為了有效的提高產(chǎn)品的測(cè)量精度，節(jié)約人工成本，因此在線(xiàn)膜厚檢測(cè)成為了自動(dòng)化薄膜生產(chǎn)線(xiàn)中*的一部分。
檢測(cè)原理
東莞市捷揚(yáng)光電科技有限公司在在線(xiàn)膜厚檢測(cè)這個(gè)領(lǐng)域運(yùn)用比較成熟的方法有光譜共焦法、激光三角法、白光干涉法。這三者采用不同的檢測(cè)原理，所檢測(cè)的精度也略微不同。
●光譜共焦法：一束白光穿過(guò)小孔S，照射在色散鏡頭組L上。色散鏡頭組把白光分解成不同波長(zhǎng)的單色光，每一種單色光都有不同的焦距，按色光的波長(zhǎng)由短到長(zhǎng)，它們的像點(diǎn)離開(kāi)透鏡由近到遠(yuǎn)地排列在光軸上，然后打到樣品上，只有在樣品焦點(diǎn)位置的光才會(huì)反射回來(lái)。反射回來(lái)的光經(jīng)過(guò)光纖傳導(dǎo)到光譜儀進(jìn)行光譜分析，分析出當(dāng)前的光譜，即可對(duì)應(yīng)計(jì)算出焦點(diǎn)的距離。
●激光三角法： 激光位移傳感器利用激光發(fā)射器通過(guò)鏡頭將可見(jiàn)紅色激光射向被測(cè)物體表面，經(jīng)物體反射的激光通過(guò)接收器鏡頭，被內(nèi)部的CCD線(xiàn)性相機(jī)接收，根據(jù)不同的距離，CCD線(xiàn)性相機(jī)可 以在不同的角度下“看見(jiàn)”這個(gè)光點(diǎn)。根據(jù)這個(gè)角度及已知的激光和相機(jī)之間的距離，數(shù)字信號(hào)處理器就能計(jì)算出傳感器和被測(cè)物體之間的距離。
●白光干涉法：樣品涂層的上下表面的反射光會(huì)產(chǎn)生干涉，其干涉條紋的疏密與厚度有一定的關(guān)系，通過(guò)光譜儀檢測(cè)出光的干涉條紋，再通過(guò)軟件計(jì)算出薄膜的厚度。
1） 薄膜上下表面都會(huì)產(chǎn)生反射光，如下圖所示：
2） 兩種反射光由反射探頭采集，傳入光譜儀進(jìn)行檢測(cè)，光譜儀測(cè)出干涉條紋。
3） 根據(jù)儀器測(cè)量到的干涉條紋，通過(guò)軟件，計(jì)算出薄膜的厚度。
檢測(cè)方式
東莞市捷揚(yáng)光電科技有限公司的在線(xiàn)膜厚檢測(cè)系統(tǒng)可根據(jù)企業(yè)生產(chǎn)線(xiàn)的生產(chǎn)要求，提供符合生產(chǎn)要求的解決方案，為客戶(hù)設(shè)計(jì)出符合生產(chǎn)要求的在線(xiàn)膜厚檢測(cè)系統(tǒng)。真正做到在線(xiàn)24小時(shí)檢測(cè)，為企業(yè)節(jié)約人力物力，提高生產(chǎn)效益。
在線(xiàn)檢測(cè)模型圖
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
●非接觸式 東莞市捷揚(yáng)光電科技有限公司的在線(xiàn)膜厚檢測(cè)系統(tǒng)的傳感器采用非接觸式設(shè)計(jì)，避免測(cè)量過(guò)程中對(duì)薄膜造成干擾。
●在線(xiàn)實(shí)時(shí)檢測(cè) 傳感器在線(xiàn)實(shí)時(shí)檢測(cè)，計(jì)算機(jī)可以監(jiān)控記錄每個(gè)點(diǎn)的變化。
●高精度 可根據(jù)客戶(hù)的要求，提供不同精度的解決方案。
●穩(wěn)定性高 可連續(xù)工作在溫度和廠房環(huán)境中。
●性?xún)r(jià)比高 價(jià)格有優(yōu)勢(shì)，是國(guó)外同級(jí)產(chǎn)品價(jià)格的一半。
產(chǎn)品應(yīng)用圖
