Alicat的11系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量。采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校,可達(dá)到優(yōu)于100ms的控制速度,并保持穩(wěn)定性。
美國ALICAT 11系列基本型質(zhì)量流量控制器,美國ALICAT 11系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。
Alicat的11系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量。采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的PID調(diào)校,可達(dá)到優(yōu)于100ms的控制速度,并保持穩(wěn)定性。
產(chǎn)品特點(diǎn) :
● 低價(jià)位產(chǎn)品
● 標(biāo)配模擬控制方式,數(shù)字可選
● 高量程比 200:1
● 響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms(可調(diào))
技術(shù)參數(shù) :
介質(zhì)要求:非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類:單種氣體標(biāo)定,請參考背面氣體兼容表
量程:從0-10SCCM 到 0-20SLPM()
量程比:200:1
顯示流量:102.4%FS
精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-滿量程
重復(fù)性:± 0.2% FS
零點(diǎn)漂移&滿量程漂移:0.02% FS / oC / Atm
預(yù)熱時(shí)間:<>
響應(yīng)時(shí)間:100ms(可調(diào))
標(biāo)定工況:25oC & 100kPa 絕壓
工作溫度:-10 ~ +50 oC
工作濕度:0-,無冷凝
標(biāo)準(zhǔn)工作壓力:1MPa 表壓
標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓:1.2MPa 表壓
中壓選項(xiàng):2MPa
模擬輸入/輸出信號(hào):0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
數(shù)字輸入/輸出信號(hào):可選RS-232
供電電壓:7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)
供電電流:250mA
電氣接口:DB15
材質(zhì):302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁、
黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式:對位置無要求 防護(hù)等級(jí):IP40
應(yīng)用及案例 :
● 大學(xué)/研究所
● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 半導(dǎo)體
● 汽車制造
● 光伏
● 燃料電池
● 計(jì)量
● 過程工藝氣體測量