日本hrd-therma微小區(qū)域熱擴(kuò)散率檢測TM3
特征
熱物理特性顯微鏡是一種測量熱擴(kuò)散率的設(shè)備，熱擴(kuò)散率是熱物理特性值之一。
它是一種可以用點(diǎn)、線和面測量樣品的熱特性的設(shè)備。
還可以測量微米量級的熱物理特性分布，這在傳統(tǒng)的熱物理特性測量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。
它是世界上一個(gè)能夠?qū)嵛锢硖匦赃M(jìn)行非接觸和高分辨率測量的設(shè)備。
3 μm的檢測光斑直徑可在微小區(qū)域內(nèi)進(jìn)行高分辨率熱物理特性測量（點(diǎn)/線/面測量）。
由于可以通過改變深度范圍進(jìn)行測量，因此可以從薄膜/多層膜到塊狀材料進(jìn)行測量。
您還可以測量基板上的樣品。
使用激光進(jìn)行非接觸式測量。
可以檢測薄膜下的裂紋、空隙和剝落。
熱物理顯微鏡測量原理（概述）
在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光定期加熱。
由于金屬的反射率具有隨表面溫度變化的特性（熱解法），因此通過捕捉與加熱激光同軸照射的檢測激光的反射強(qiáng)度變化來測量表面的相對溫度變化。做。
熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)出現(xiàn)相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱特性。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來獲得熱擴(kuò)散率。
主要規(guī)格
| 名稱/產(chǎn)品名稱 | 熱物理顯微鏡/熱顯微鏡 |
|---|---|
| 測量模式 | 熱物性分布測量（1D、2D、1點(diǎn)） |
| 測量項(xiàng)目 | 熱擴(kuò)散率，（熱擴(kuò)散率），（熱導(dǎo)率） |
| 檢測光斑直徑 | 約 3 μm |
| 1點(diǎn)測量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間 | 10 秒 |
| 待測薄膜 | 厚度從幾百納米到幾十微米 |
| 重復(fù)精度 | Pyrex 和硅的熱擴(kuò)散率小于 ± 10% |
| 樣本 | 1. 樣品架 30 mm x 30 mm 厚度 5 mm 2. 板狀樣品 30 mm x 30 mm 或更小且 3 mm 或更小
|
| 工作溫度限制 | 24°C±1°C（根據(jù)設(shè)備內(nèi)置的溫度傳感器） |
| 舞臺移動(dòng)距離 | ? X 軸方向 20mm ? Y 軸方向 20mm ? Z 軸方向 10mm |
| 加熱用激光 | 半導(dǎo)體激光波長：808nm |
| 檢測用激光 | 半導(dǎo)體激光波長：658nm |
| 電源 | 交流 100V 1.5kVA |
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 樣品架，參考樣品 |
| 選項(xiàng) | 光學(xué)平臺、空調(diào)、空調(diào)房、濺射設(shè)備 |
