一．產(chǎn)品特點(diǎn)
- 儀器管路經(jīng)鈍化處理，零死體積管路設(shè)計(jì)，等特殊工藝保證了系統(tǒng)的惰性，可靠性更高，使用壽命更長(zhǎng)
- 進(jìn)樣預(yù)處理系統(tǒng)和切換閥均采用帶吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)口自動(dòng)閥，可防止空氣混入、提高系統(tǒng)的密閉性
- 配置氣體分離專(zhuān)用微填充柱和高效毛細(xì)管柱，配合分離預(yù)切再分離技術(shù)，實(shí)現(xiàn)樣品更高分離度
- 采用了*的10/100M自適應(yīng)以太網(wǎng)接口，實(shí)現(xiàn)全網(wǎng)絡(luò)反控，工作站界面簡(jiǎn)單，數(shù)據(jù)處理功能強(qiáng)大。
- 采用成熟的多閥多柱，中心切割和反吹技術(shù)，的設(shè)計(jì)工藝，穩(wěn)定可靠的高純氣體分析色譜技術(shù)解決方案
氦離子檢測(cè)器
二．技術(shù)參數(shù)
◆溫控系統(tǒng)
柱箱溫度范圍：室溫+5℃～450℃
溫度設(shè)定精度：0.01℃
溫控?cái)?shù)量：8路獨(dú)立控溫系統(tǒng)
程序升溫速度：0.1～40℃/min
智能后開(kāi)門(mén)：進(jìn)出風(fēng)量無(wú)級(jí)可調(diào)
降溫速度：從350℃降至50℃＜7min
程序升溫階數(shù)：16階（可擴(kuò)展）
最長(zhǎng)一次運(yùn)行時(shí)間：999.99min
◆進(jìn)樣系統(tǒng)
控制方式：壓力/流量控制
流量：氣體流量為1000SCCM
靈敏度：0.01SCCM
輸出偏移量（精度）：±5%
分流比：5000:1
電磁閥：高速切換電磁閥壽命長(zhǎng)(10mS，100萬(wàn)次)
進(jìn)樣閥：可搭載多個(gè)進(jìn)口自動(dòng)控制閥，可自動(dòng)序列運(yùn)行
◆檢測(cè)器及純化器系統(tǒng)
檢測(cè)氣體類(lèi)型：H2、Ar、O2、N2、CH4、CO、CO2等
放電模式：脈沖放電
基線(xiàn)噪聲：≤0.05mv
基線(xiàn)漂移：≤0.2mv/30min
檢測(cè)限：10ppb（甲烷）
重復(fù)性：RSD≤3%
可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe等
操作壓力：1000Psi
去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3等
殘留濃度：≤10ppb
檢測(cè)指標(biāo)：
雜質(zhì)： | H2 | O2 | N2 | CO | CH4 | CO2 | C2H2 | C2H4 | C2H6 | N2O等 |
PPB | 10 | 10 | 15 | 25 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 20 |
三．適用標(biāo)準(zhǔn)：
GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》 GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氦》
GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》 GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》
GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》 GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體 氨》
GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》 GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》
GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體 》 GB/T 14603-2009《電子工業(yè)用氣體 》
GB/T 28125.1-2011《空分工藝中危險(xiǎn)物質(zhì)的測(cè)定》
四．典型譜圖：
