熱式質(zhì)量流量控制器 (MFC)能在很大范圍內(nèi)測(cè)量和控制氣體流量，并不受氣體溫度和壓力的影響。其工作原理基于對(duì)熱量傳導(dǎo)和流量的測(cè)量。
HovaGas將質(zhì)量流量控制器的優(yōu)點(diǎn)與智能操控結(jié)合起來，通過靈敏的按鍵和圖像顯示屏(觸屏）實(shí)現(xiàn)儀表操作。
HovaGas 的核心是數(shù)字氣量控制單元（GMU）—一個(gè)專為混合氣體而設(shè)計(jì)的微處理器。它通過可視化的人機(jī)交互軟件實(shí)現(xiàn)流量的實(shí)時(shí)控制。
質(zhì)量流量控制器
功能
HovaGAS能通過接口RS232與電腦連接，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控。Windows操作系統(tǒng)的電腦安裝軟件viewGAS后，HOVAGAS的操作界面將以流程圖的形式展現(xiàn)。HovaGas 的所有功能（包括數(shù)據(jù)的讀取和存儲(chǔ)）都可以遠(yuǎn)程操控。此外viewGAS 還可以定時(shí)控制氣體濃度輸入。
每一個(gè)氣體流量和濃度都會(huì)展示在趨勢(shì)圖。一個(gè)合適的校準(zhǔn)方案會(huì)產(chǎn)生多項(xiàng)式曲線，擴(kuò)大存儲(chǔ)空間。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
?自動(dòng)調(diào)節(jié)濃度
?自動(dòng)計(jì)算氣體流量
?壓差和溫差不影響質(zhì)量流量測(cè)量
?內(nèi)部存儲(chǔ)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)
?高精度經(jīng)過多項(xiàng)校準(zhǔn)
?同時(shí)最多混合8種氣體
?測(cè)量和規(guī)定范圍可根據(jù)客戶要求定制
?通過接口與外部PC連接控制
?自動(dòng)程序控制
?通過校準(zhǔn)檢查質(zhì)量流量控制器
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技術(shù)參數(shù)
| 氣體通道數(shù)量 | 最多8個(gè) |
| 測(cè)量范圍（可根據(jù)要求定制） | 最小: 3 mln/min / .: 1000 ln/min |
| 測(cè)量規(guī)定范圍 | 流量的10-99% |
| 混合和稀釋比例 | 取決于質(zhì)量流量控制器和總流量：1:1000000 |
| 精度（經(jīng)多項(xiàng)校準(zhǔn)） | 優(yōu)于測(cè)量值的0.5% |
| 再現(xiàn)性 | 優(yōu)于限值的0.1% |
| 觸屏 | PTFE, 不銹鋼SS316，Viton® 可選: Kalrez® |
| 輸入壓力范圍 | 0.5-5.0 bar可根據(jù)要求調(diào)節(jié) |
| 輸出壓力 | 比入口壓力低100 mbar |
| 壓力偏差 | 在上述壓力范圍內(nèi)可忽略不計(jì) |
| 氣體接口 | 6 mm Swagelok卡套接口或根據(jù)客戶需求定制 |
| 混合區(qū) | 內(nèi)部，可選外部 |
| 預(yù)熱時(shí)間 | 30min |
| 屏幕 | LCD 藍(lán)色/白色 240 x 128 dot 背景照明Touch-Felder觸摸領(lǐng)域 |
| 電壓 | 110-240 V |
| 外殼 | 箱體，可選臺(tái)式或19“-插入式 |
| 箱體尺寸 | 53 x 21 x 44 cm (W x H x D) 做多帶5個(gè)質(zhì)量流量控制器 |
