詳細(xì)參數(shù)：
電子光學(xué)系統(tǒng)
電子槍?zhuān)篕型預(yù)對(duì)中鎢燈絲陰極（原裝日本進(jìn)口，壽命可達(dá)250小時(shí)）分辨率：二次電子像分辨率優(yōu)于3.0nm@30kV
加速電壓范圍：0－30kV，步進(jìn)式連續(xù)可調(diào)（0～10kV步進(jìn)量為100V，10kV～30kV步進(jìn)量為1kV）
放大倍數(shù)范圍：16X－600,000X（可定制）
透鏡系統(tǒng)
三級(jí)電磁透鏡系統(tǒng)：雙級(jí)可變聚焦電磁聚光鏡，高性能錐形電磁物鏡
三個(gè)物鏡光闌，在真空外可調(diào)，X/Y方向微調(diào)；無(wú)需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌
真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)：1臺(tái)磁懸浮渦輪分子泵，1臺(tái)機(jī)械泵組成的機(jī)組
全自動(dòng)真空控制，具有真空互鎖功能
樣品室及樣品臺(tái)（可定制）：
五軸樣品臺(tái)
樣品臺(tái)行程：
X:0-80mm；Y:0-60mm；Z：0-50mm；R：360°連續(xù)；T：-5°-﹢95°
載入樣品：φ175mm ，高度：60mm；觀測(cè)范圍：60mm
樣品臺(tái)具有接觸報(bào)警與自停功能
探測(cè)器：
二次電子探測(cè)器
背散射電子探測(cè)器
樣品室紅外CCD相機(jī)
成像模式：同時(shí)得到二次電子像，背散射電子像，兩種圖像混合像
可選配能譜儀
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