產(chǎn)品詳細(xì)介紹：
OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機(jī)械泵，供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng)，其真空度可達(dá)到 10-2 torr.
技術(shù)參數(shù)：
高溫爐殼體 | · 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55℃ · 內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度 |
功率 | 2.5 KW |
電壓 | AC 208-240V 單相, 50/60 Hz |
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金（表面涂有氧化鋯涂層，使其延長使用壽命） |
工作溫度 | 1200℃ |
連續(xù)工作溫度 | 1100℃ |
升溫速率 | ≤20 ℃ |
爐管材質(zhì)和尺寸 | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
加熱區(qū)長度 | 400 mm |
控溫系統(tǒng) | PID30段程序化控溫 |
控溫精度 | +/- 1 ℃ |
真空密封系統(tǒng)
| 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥），漏氣率6 mtorr/min
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| 采用雙旋機(jī)械泵，機(jī)械泵上安裝有油污過濾器，可以過濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，保護(hù)環(huán)境和人體健康，過濾的最小微粒直徑為0.3微米。 |
防腐型真空計(jì) |
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混氣系統(tǒng)
| · 三個(gè)浮子流量計(jì) · 三路浮子量程分別為 · 10-100 cc/min. · 16-160 cc/min. · 25-250 cc/min · 內(nèi)部安裝有一混氣罐 |
尺寸 | · 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm · 混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm |
凈重 | · 約60kg |
開門斷電 | · 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)
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運(yùn)輸重量 | · 200 |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期（不包括爐管 、加熱元件和密封圈的損耗件） ·
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使用注意事項(xiàng) | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃ · 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
