小流量氮?dú)饬髁坑?/span>產(chǎn)品簡介：
： 陳經(jīng)理
WDR系列小流量氮?dú)饬髁坑?/span>采用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對不同的氣體進(jìn)行流量量測及控制。
可應(yīng)用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響。
產(chǎn)品系列完整，可選擇數(shù)字式，模擬式，普通，高精度，高壓力型，性能且價格具有競爭力，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。
小流量氮?dú)饬髁坑?/span>/流量控制器：
低單價
環(huán)境溫度補(bǔ)正
小流量氮?dú)饬髁坑?/span>可應(yīng)用的流率范圍廣：
0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
高精度
±1%(≤15SLM)
±1.5%(＞15SLM.)
可選用LF系列控制模塊，具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能
國際兼容
小流量氮?dú)饬髁坑?/span>用氮?dú)?N2)標(biāo)定。
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
| 功能 | 流量計/控制器 | |
| 基本型號 | WDR | |
| 滿量程流量范圍(N2) | SCCM | 0～5，10，20，30，50，100，200，500 |
| SLM | 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
| 精度(％F.S) | ±1(≤15SLM) | |
| ±1.5(＞15SLM.) | ||
| 控制閥動作型式 | 常閉式 | |
| 線性(％F.S.) | ±0.5～1(≤15SLM) | |
| ±1.5％(＞15SLM.) | ||
| 重復(fù)精度(％F.S.) | ±0.2 | |
| 響應(yīng)時間(sec) | ≤1 | |
| 流量輸出信號 | 0-+5.00V | |
| 流量設(shè)定信號 | 0-+5.00V | |
| 電器接頭 | DB15 pin(接頭) | |
| 工作環(huán)境溫度 | (℃) | 5～45 |
| 工作壓差 | (MPa) | 0.1～0.5 |
| 漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
| *大耐壓 | 3MPa | |
| 介質(zhì)接觸材質(zhì) | 304，316，316L | |
| 密封材料 | 氟橡膠，硅橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯 | |
| 接頭 | VCR " 1/4、1/2 | |
| Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | ||
| 接頭和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm | |
| 電源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
| 重量 | 1.0KG | |
