小流量氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品簡介:
: 陳經(jīng)理
WDR系列小流量氣體質(zhì)量流量計采用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理,可以對不同的氣體進行流量量測及控制。
環(huán)境溫度補正
功能 | 流量計/控制器 | |
基本型號 | WDR | |
滿量程流量范圍(N2) | SCCM | 0~5,10,20,30,50,100,200,500 |
SLM | 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
精度(%F.S) | ±1(≤15SLM) | |
±1.5(>15SLM.) | ||
控制閥動作型式 | 常閉式 | |
線性(%F.S.) | ±0.5~1(≤15SLM) | |
±1.5%(>15SLM.) | ||
重復(fù)精度(%F.S.) | ±0.2 | |
響應(yīng)時間(sec) | ≤1 | |
流量輸出信號 | 0-+5.00V | |
流量設(shè)定信號 | 0-+5.00V | |
電器接頭 | DB15 pin(接頭) | |
工作環(huán)境溫度 | (℃) | 5~45 |
工作壓差 | (MPa) | 0.1~0.5 |
漏率 | SCCSHe | 1×10-9 |
*大耐壓 | 3MPa | |
介質(zhì)接觸材質(zhì) | 304,316,316L | |
密封材料 | 氟橡膠,硅橡膠,丁腈橡膠,聚四氟乙烯 | |
接頭 | VCR " 1/4、1/2 | |
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm | ||
接頭和尺寸 | Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm | |
電源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA | |
重量 | 1.0KG |