徠卡高真空鍍膜儀-Leica EM ACE600性能 | ||
• *重現(xiàn)的結(jié)果:運行全自動化過程,輔以參數(shù)和協(xié)議設置。集成的 石英測量和自動化3軸載物臺移動 • 小巧緊湊:設計緊湊,占地面積小節(jié)省了實驗室空間 • 容易清洗:可拆卸的門、卷簾、內(nèi)部屏蔽、來源和載物臺,確保制備 高品質(zhì)樣本的環(huán)境清潔 • 操作簡便:直觀的觸摸屏,松推配合的連接器和免工具的目標變更, 舒適的前門鎖定 • 自定義配置:可滿足不同的具體需求 • 低溫鍍膜:真空低溫傳輸系統(tǒng)適應將室溫鍍膜機轉(zhuǎn)換成低溫鍍膜機。 樣本能在低溫下于受保護的環(huán)境中進行鍍膜和傳輸 | ||
徠卡高真空鍍膜儀-Leica EM ACE600技術參數(shù) | ||
可任選離子濺射模式,碳絲蒸發(fā)鍍碳模式,碳棒(熱阻)蒸發(fā)模式, 電子束蒸發(fā)模式,雙濺射模式,濺射-碳絲模式,濺射-碳棒模式,濺 射-電子束模式,雙電子束模式,可兼容EM VCT100冷凍傳輸系統(tǒng), 可選輝光放電(用于網(wǎng)格表面親水化) | ||
*設計脈沖式碳絲蒸發(fā)方式,可準確控制碳膜厚度 | ||
內(nèi)置石英膜厚檢測器,準確控制鍍膜厚度,精度達0.1nm | ||
全自動程序控制,自動完成抽真空、鍍膜、放氣等過程 | ||
觸摸屏控制,簡單方便 | ||
采用隔膜泵+渦輪分子泵,無油真空系統(tǒng),真空度≤2x10-6mbar | ||
濺射電流:0-150mA可調(diào) | ||
方形樣品倉創(chuàng)新設計,樣品倉尺寸:200mm(寬)x150mm(深)x195mm(高) | ||
樣品臺內(nèi)置旋轉(zhuǎn),工作距離調(diào)節(jié)范圍:30-100mm |
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