微小型熱式氣體質(zhì)量流量計 關鍵字:流量計,孔板流量計,浮子流量計,傳感器,質(zhì)量流量計,,,,,,, | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
一、 產(chǎn)品概述 采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS( Microelectromechanical systems)氣體質(zhì)量流量計和流量控制器,主要應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。 該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償
2.2 流量范圍: DN3 30-300ml/min DN6 60-600ml/min DN8 80-800ml/min DN10 100-1000ml/min 注:(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言; (b)以上流量的標準狀態(tài)20℃,101.325kPa。 (c) 每個口徑量程范圍均可擴大 (d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨標定 2.3 流量測量準確度:±1.5%FS;±2.5%FS 三、 工作原理
式中:氣體流動方向為x,速度為v,a為擴散率。 如上圖(式)所示,當氣體流過芯片時,將會帶走熱量,通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質(zhì)量流量。
1、產(chǎn)品集成度高,集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體,并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門。 2、μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術和材料加工技術,使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升。 3、微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。 4、單個芯片的流量特性的微處理技術,使流量計的量程范圍大大提高。 5、機電一體化優(yōu)化設計,智能化的數(shù)據(jù)處理技術,使流量計具有更好的重復性,實現(xiàn)了計量的準確、可靠。 6、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化,MFM流量計的壓力損失達到最小化。 7、采用新的MF傳感技術,使流量計工作更穩(wěn)定、可靠。 8、零點自校功能,測量更準確。 9、多種氣體實際標定,全量程補償。 10、快速響應、數(shù)據(jù)自動存儲,配合上位機可實現(xiàn)網(wǎng)絡集中管理。 11、規(guī)格齊全,量程范圍寬,可根據(jù)用戶要求單獨標定。 12、精度等級高,滿足用戶高精度測量要求。 13、的流量計報警功能,使監(jiān)控更可靠。 14、操作、設置界面友好、簡便,可根據(jù)需要自行設定相關參數(shù)。 15、運用行業(yè)多,是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的。
六、安裝與接線 7.1 安裝注意事項
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相關信息 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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公司自創(chuàng)建以來,致力于工業(yè)生產(chǎn)過程控制儀表和自動化系統(tǒng)的研制、生產(chǎn)、銷售及工程施工。產(chǎn)品廣泛應用于石油、化工、電力、冶金、航天、水利、環(huán)保等行業(yè)。
我公司經(jīng)過多年的可持續(xù)發(fā)展,業(yè)績逐年穩(wěn)步增長。在逐步完善各種管理制度的同時,建立健全了科技研發(fā)團隊、專業(yè)銷售團隊、以及完善的售后服務網(wǎng)絡。產(chǎn)品范圍涉及:儀器儀表、電線電纜、機電設備、電子元器件、橋架等。產(chǎn)品取得了生產(chǎn)許可證,并通過IS09001:2000質(zhì)量管理體系認證。
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