TIME®3220T測量平臺
ETA620測量平臺
絲桿升降,平臺上設(shè)置V型槽,用來測量形狀較小的工件,可提高測量精度。
花崗巖平臺工作面精度:00級(平面公差值3μm )
花崗巖平臺大小尺寸:400mm×250mm×70mm
垂直升降高度:300±1mm
升降回程誤差:≤手輪旋轉(zhuǎn)1/6圈
ETA650測量平臺
垂直方向上的升降高度:300±1mm(微調(diào)由儀器上的可調(diào)支架完成)
垂直方向上的旋轉(zhuǎn)角度:±45
回程誤差:不大于手輪的1/6圈
平臺的平面度:00級
花崗巖平臺尺寸:600mm×420mm×80 mm
總高度:695mm
TA631微調(diào)平臺
X—Y平面轉(zhuǎn)角。
調(diào)整范圍:X向±12.5mm Y向±12.5mm
旋轉(zhuǎn)角度:粗調(diào) 360 微調(diào)±5