設備特點
此款CVD系統(tǒng)是由1200℃開啟式迷你真空管式爐、氣路系統(tǒng)和低真空機組組成。其特點是爐體小巧(凈重只有18Kg),升溫速度極快(Z快可達到100℃/分鐘),它不僅可以抽真空,也可以通氣體保護。其結構使得拆裝爐管方便、操作簡捷、使用者可直接將密封腔體移出爐體,加快降溫過程,透明石英管腔體可直觀的看到樣品燒結狀態(tài)。
加熱區(qū)參數(shù)
| 爐管尺寸:外徑Φ25/50*600mm (管徑可選) 加熱元件:電阻絲(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo) 恒溫區(qū)長度: 80mm 工作溫度:1100℃ 推薦升溫速度:20℃/min Z快升溫速度:≤100℃/min 爐門結構:開啟式 額定功率:2KW 外型尺寸:350×290×345 mm 標準配件:石英管1根,不銹鋼密封法蘭1套,硅膠密封圈2套,氧化鋁管堵4只,高溫手套1副,坩堝鉤1支,小保險1個。 密封系統(tǒng):爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭) 端口可按實際使用擴展。 |
氣路系統(tǒng)參數(shù)
| 質量流量計參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm (量程可選) 準確度:±1.5% 線性:±0.5~1.5% 重復精度:±0.2% 響應時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec 工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa Z大壓力:3MPa 接口:Φ6,1/4'' 顯示:4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6 壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥:Φ6 連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。 備注:可選配一路、兩路、三路、四路等以上質量流量計。 |
低真空系統(tǒng)參數(shù)
| 國產(chǎn)油泵型號:BSV-10 抽速:10m3/h 極限真空度:5*10-1pa 電源:220v 50hz 電機功率:0.4kw 進排氣連接口:KF25 用油量:1.1L 電機轉速:1440rpm 工作環(huán)境溫度:5-40℃ 噪音:≤56db 電阻真空計參數(shù): 1.配用規(guī)管:ZJ-52T電阻規(guī), 2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa, 3.測量路數(shù): 1路 4.控制范圍: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa, 5.控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載, 6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz, 7.功耗: 20W |