應(yīng)特格6英寸晶圓盒晶圓運輸盒( entegris PFA carrier)
6英寸PFA cassette 高幫進口PFA材質(zhì)6英寸清洗花籃為晶圓片提供支撐和保護作用,A194-60MB 晶圓運輸盒對晶圓加工中的常用化學(xué)品都是耐受的。包括酸(鹽酸,硫酸,氫氟酸和硝酸),堿(氫氧化鈉,氫氧化鉀,氫氧化銨,過氧化氫),醇,酮,氯化溶劑和氟利昂。
溫度限制:高溫晶圓高溫硅片輸入極限溫度為290℃。連續(xù)使用極限溫度120℃。
晶圓容量:25片
型號:A194-60MB