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紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機 | VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂膜機、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀、spin coater主要用于半導(dǎo)體工藝、制版工藝過程中圖形的顯影及表面涂覆工藝,是一款上蓋可以加熱的勻膠機、顯影機,在勻膠或顯影過程結(jié)束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù)蒸發(fā)到含量低。工作過程中顯影液或膠體以霧狀噴到樣片上,使溶液在樣片表面均勻分布,有利于薄膜和顯影過程的順利進行。本機電機部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨立電源進行控制,電機調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的PLC進行控制,轉(zhuǎn)數(shù)在100-2000RPM范圍內(nèi)可調(diào)。涂膜機在工作時設(shè)有兩個階段,在啟動前根據(jù)實際需要進行設(shè)置。VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機、勻膠機、甩膠機、旋涂儀、顯影機、spin coater啟動快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。對于樣件的固定,采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板,不僅樣件取放自如,而且操作簡便。此外,在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,降低運轉(zhuǎn)時的噪音。 | ||
主要特點 | 1、采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板固定樣件,不僅樣件取放自如,而且操作簡便;橡膠吸盤和磁力鋼片模板大小可根據(jù)需要進行定制。 | |||
基 本 參 數(shù) | 1、電源:AC220/110V、50/60Hz 3、雙轉(zhuǎn)速涂膜功能: 雙轉(zhuǎn)速及涂膜時間分別設(shè)置,在啟動后先低速運轉(zhuǎn)(滴涂膠液),然后自動轉(zhuǎn)換到高速運轉(zhuǎn)(勻膠)。轉(zhuǎn)速穩(wěn)定(±1%),涂膜物質(zhì)均勻。 轉(zhuǎn)數(shù)1:100-2000 RPM有效
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安裝條件: 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
產(chǎn)品規(guī)格: 主機外形尺寸500mm(長)×410mm(寬)×330mm(高),
可選配件: 橡膠吸盤 磁力鋼片模板(可定制) | ||
標準配件: 1 磁性鋼片模板(Ф160mm) 1個
2 吸盤(Ф153mm) 1個
3 溫控箱 1臺
4 蠕動泵 6臺 |
光度計,水質(zhì)監(jiān)測,氣體發(fā)生器,培養(yǎng)箱,環(huán)境監(jiān)測,實驗室儀器
紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂膜機 產(chǎn)品信息