實驗機理：

•輝光放電等離子體中：電子密度高10A3-10A12cm3

電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍

產(chǎn)品特點：

•雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。因此，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學反應(yīng)沉積生成薄膜。

•科晶公司提供定制的薄膜材料的實驗室質(zhì)量可靠、價格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。

•下圖顯示的是PECVD法用500W交流等離子體與OTF1200X50、7通道精密質(zhì)量流量計和高真空系統(tǒng)氣體組成

開啟式管式爐：

•工作溫度：1200℃

•爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用

•溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

•加熱區(qū)長度：440mm

•功率：AC220V 4KW

等離子射頻電源：

•輸出功率：50-500W可調(diào)+1%

•RF頻率： 13.56MHz，穩(wěn)定性+0.005%

•噪聲：《55DB

•冷卻：風冷

•輸入功率：1KW AC220V

真空泵和閥門：

•采用KF25系列波紋管和精密針閥連接

•真空度可達10-3torr

本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x1o^-5 至 1125Torr不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

質(zhì)子流量計：

•內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計可準確的控制氣體流量

•氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%

•一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥

•不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入

•進氣口：采用國際標準雙卡套接頭

外行尺寸：

•爐體：550*380*520mm

•供氣及真空系統(tǒng)：600*600*597mm

•凈重：120KG

開門斷電：

為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計

質(zhì)保期：

一年質(zhì)保期相關(guān)耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件

使用注意事項：

•爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

•由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

•當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)

•進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

•石英管的長時間使用溫度<1100℃

對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02Mpa,必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）