現(xiàn)代超純水制造工業(yè)純水設備典型工藝流程有以下四種：
1: 預處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈-純水泵－用水點
2: 預處理－一級反滲透－二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點
3: 預處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點
4: 預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點
水處理設備、直飲水工程
