如何進(jìn)入無塵潔凈室？
1、 任何進(jìn)入無塵潔凈室的人，必須*入無塵更衣室，穿上無塵帽、無塵口罩、無塵衣、靜電防塵手套、無塵褲、無塵靴（如圖①所示）。經(jīng)過這套外形很“酷”的防塵裝備可將人們身上已有的灰塵隔離在無塵潔凈室之外，但這才是*步。
2、 接著就要進(jìn)入風(fēng)淋室。所謂風(fēng)淋室是指一條“吹風(fēng)的長廊”，不過在這條長廊中吹出來的強風(fēng)是沒有任何靜電存在的離子風(fēng)。這種離子風(fēng)所具有的中和能力可以將人身上的正負(fù)電荷中和，而且依靠靜電黏附在毛發(fā)、衣服上的灰塵也會自動脫落并粘在地板上的藍(lán)色洗塵墊上（如圖②所示）。
3、 走過風(fēng)淋室后，就進(jìn)入無塵潔凈室了。如果無塵潔凈室生產(chǎn)的產(chǎn)品要防靜電，則還要經(jīng)過“靜電橋”*地消除身上的靜電。若進(jìn)入百級潔凈室還重復(fù)2、3步驟動作。
什么是無塵概念？
按照慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非*沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
如表1所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達(dá)到了無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
表1
A級B級C級
粒徑≤0.5≤0.5≤0.5
個數(shù)≤3500≤10000≤18000
潔凈室的動線規(guī)劃
所謂[動線]，是指人員、原料之入室路線，與人員與成品的出室路線。規(guī)劃時，要檢討分析人（車）路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運和作業(yè)之流程等，盡量縮短動線，并避免交叉，以防止交叉污染（Cross Contamination）。
