*視窗為雙層設(shè)計(jì),操作安全
*設(shè)備占地面積小
*噴淋裝置噴淋均勻無(wú)死角
*加熱材料高純無(wú)污染,in-line加熱
*有限控制金屬、材料及微粒子的交叉
*溫度自動(dòng)校準(zhǔn)
*軟硬件互鎖裝置保證操作人員人身安全
*支持SMIF自動(dòng)傳輸
*實(shí)時(shí)記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù),多種數(shù)據(jù)分析功能
*軟件支持GEM/SECS接口,提供PAP MES等功能
*工藝柔性化設(shè)計(jì),工藝更改方便迅速
*優(yōu)化配管設(shè)置,節(jié)約DIW消耗量
*藥液濃度實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)
*多工藝數(shù)據(jù)庫(kù),可供用戶(hù)適用和儲(chǔ)存
*槽體流場(chǎng)控制技術(shù)
*高效藥液回收系統(tǒng)
*Maragoni Dryer 低破片率,高潔凈度
*較潔凈藥液回收利用,節(jié)約藥液使用
*易燃化學(xué)品安全穩(wěn)定加熱系統(tǒng)
*易燃化學(xué)品搭載消防系統(tǒng)及切斷排風(fēng)系統(tǒng),符合消防安全
*自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng)
*系統(tǒng)自動(dòng)排程,多工位并發(fā)處理,高效率運(yùn)行
*擁有多項(xiàng)軟件著作權(quán)
*工藝預(yù)置,過(guò)程數(shù)據(jù)記錄和生產(chǎn)管理
*PC上位機(jī)和PLC觸摸屏的控制和人機(jī)交互界面