本公司無塵烘箱系列、真空烘箱系列用于電子光電半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、

玻璃等材料涂膠 前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶

顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物

品的干燥、熱處理、老化等其他使用。

溫度范圍：RT～300℃

溫度波動：±1.0℃

溫度均勻：±3.0℃%

升溫速率：RT~100℃ 約15分鐘

控制方式：微電腦智能LED雙數(shù)顯高清自動溫控儀表，PID自動演算PV/SV同時顯示，

超溫抑制，超調(diào)，控溫精準(zhǔn)，過沖低，BZ 警報→故障指示燈量及 BZ 警報;

控制調(diào)功：電流控制器為SSR無接點Relay，保持電流高穩(wěn)定性;

顯示方式：高清數(shù)顯型控制面板，設(shè)定溫度與顯示溫度獨自顯示;

記憶設(shè)計: 獨立式智能溫度設(shè)定，具有記憶功能，無論開關(guān)機或斷電后都無需重新設(shè)定;

傳感精度：高精度溫度傳感,誤差小于±1℃,專用釆集模塊設(shè)計，測溫準(zhǔn)確;

柜體結(jié)構(gòu)：采用精密切割設(shè)備,自動沖床和數(shù)控剪板機,折彎機等設(shè)備生產(chǎn),制造精度高,采用

OTC焊接設(shè)備,焊接柜體密閉性好;

內(nèi)膽材質(zhì)：采用鏡面不銹鋼材質(zhì)制作,高強度柜身,重疊式結(jié)構(gòu)設(shè)計,密封性能;

外箱材質(zhì)：采用冷板S41經(jīng)防銹處理后外加靜電噴粉,顏色為乳白色,美觀大方;

保溫材料：采用厚度90毫米硅酸高級保溫棉，六面保溫斷熱，機臺外表溫度小于 45℃;

密封方式：氣密式設(shè)計,門和箱體接合處采用硅橡膠密封條,耐老化,確保箱內(nèi)密封;

柜門結(jié)構(gòu)：單門式設(shè)計,壓力門扣，一體化設(shè)計,密封性佳;

底部結(jié)構(gòu)：雙重式結(jié)構(gòu),底部為移動腳輪或平底固定,方便移動及固定;

承重層板：上下間距任意可調(diào),左右出風(fēng)板上安裝擱檔，隔板放在擱檔上;

注：有各種型號潔凈烘箱、真空烘箱，也可根據(jù)客戶要求定制。