產(chǎn)品介紹：
PECVD系統(tǒng)由管式爐，真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成。系統(tǒng)主要應(yīng)用于金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復(fù)合薄膜，石墨烯等生長(zhǎng)。PECVD系統(tǒng)增加功能容易，可擴(kuò)展等離子清洗刻蝕等功能，PECVD系統(tǒng)薄膜沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高等優(yōu)點(diǎn)。
PECVD系統(tǒng)主要特點(diǎn)：
1.PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低。
2.通過(guò)射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。
3.PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。
4.可以通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小。
5.廣泛應(yīng)用于：各種薄膜的生長(zhǎng)，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無(wú)定型硅(a-Si:H) 等。
應(yīng)用范圍：
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等。
設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱(chēng) | 高真空PECVD設(shè)備(CE認(rèn)證) |
滑軌管式爐部分 | |
產(chǎn)品型號(hào) | KJ-T1200-S5030-H |
爐管尺寸 | Φ50mmX1600mm |
爐管材質(zhì) | 石英管 |
加熱區(qū) | 300mm |
工作溫度 | 1100℃ |
溫度 | 1200℃ |
溫控方式 | K型熱電偶 |
控制方式 | 觸屏控制，帶獨(dú)立搖臂，可以根據(jù)實(shí)際使用需求，調(diào)節(jié)溫控屏的角度，使用更方便 |
控溫精度 | ±1℃ |
溫控保護(hù) | 具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
升溫速率 | 0-20ºC/min ，建議10ºC/min |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ （電路電壓用戶可選擇定制） |
加熱功率 | 3KW |
爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
爐體結(jié)構(gòu) | 爐體帶滑軌，可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫 |
法蘭接頭 | 標(biāo)配配有兩個(gè)不銹鋼真空法蘭，已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好。 |
殼體 | 不銹鋼殼體 |
選配 | 輔助降溫風(fēng)扇 |
真空系統(tǒng)部分 | |
名稱(chēng) | 真空系統(tǒng) |
主要參數(shù) | 1.采用進(jìn)口安捷倫高真空分子泵組，極限真空度可達(dá)10-3pa 2.KF25快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連； 3.數(shù)字式真空顯示，其測(cè)量范圍為5×10-5- 1500mbar，測(cè)量精度高高 |
氣路系統(tǒng)部分 | |
名稱(chēng) | 四路質(zhì)量流量計(jì) |
主要參數(shù) | 四通道精密質(zhì)量流量計(jì)：觸屏控制，數(shù)字顯示，自動(dòng)控制。流量范圍流量范圍： 1.MFC 1-MFC4：0-1000sccm可調(diào) 2.一個(gè)混氣罐 3.4個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動(dòng)控制4種氣體； 4.進(jìn)出氣口：3進(jìn)1出 流量控制：手動(dòng)旋轉(zhuǎn)式調(diào)節(jié) 連接方式：雙卡套連接 |
等離子電源部分 | |
名稱(chēng) | 500W等離子電源 |
功率范圍 | 0-500W（連續(xù)可調(diào)） |
工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
工作模式 | 連續(xù)輸出 |
射頻輸出阻抗接口 | N-type,female（50Ω） |
功率穩(wěn)定度 | ≤2W |
反射功率 | 70W |
電源保護(hù)設(shè)置 | DC過(guò)流保護(hù)，功放過(guò)溫保護(hù)，反射功率保護(hù) |
供電電壓/頻率 | 單相交流（187V-253V）50-60HZ |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
整機(jī)尺寸 | 88X483X550 MM |
整機(jī)重量 | 13.5KG |
認(rèn)證 | *、CE認(rèn)證 |
售后服務(wù) | 質(zhì)保一年，終身保修（耗材類(lèi)：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍） |
1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。
