藍寶石晶體生長爐又稱藍寶石單晶體生長爐,洛陽西格馬可生產(chǎn)全自動晶體生長爐、晶體提拉爐、晶體高溫爐、晶體生長爐、結(jié)晶爐。
一、藍寶石晶體生長爐產(chǎn)品用途
藍寶石晶體生長爐主要用作晶體材料的結(jié)晶生長。本系列產(chǎn)品在各溫度環(huán)境下,可以分別實現(xiàn)坩堝上升法、提拉法、泡生法等多種晶體生長工藝,并可通簡易氣氛(氮氣、惰性氣體)。
二、藍寶石晶體生長爐產(chǎn)品結(jié)構(gòu)
藍寶石晶體生長爐包括生長爐體、加熱系統(tǒng)、坩堝、隔熱材料、密封機構(gòu)、升降機構(gòu)、晶籽棒、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、測溫系統(tǒng)等。石晶體生長爐包括爐體、真空機組及發(fā)熱體,真空機組與爐體內(nèi)部連通,發(fā)熱體設(shè)置在爐體內(nèi),爐體內(nèi)還設(shè)有隔熱屏、溫區(qū)分隔板、溫度傳感器、料盤及傳動機構(gòu)。
三、藍寶石晶體生長爐技術(shù)特點
藍寶石晶體生長爐是洛陽西格馬高溫電爐公司自行研制開發(fā)的高性能新型特種電爐,采用多段可編程式溫度控制器全過程自動控制溫度,產(chǎn)品結(jié)構(gòu)新穎,操作簡便,綜合性能指標(biāo)較高,處于國內(nèi)水平,是理想的晶體生產(chǎn)裝備。
1)采用ZrB2陶瓷-石墨組合發(fā)熱體,可提供2200℃的高溫,與傳統(tǒng)的石墨發(fā)熱體電阻爐和鉬絲爐相比,節(jié)能50%以上;
2)升溫速度快,升至2200℃僅需250分鐘。
3)熱電偶采用ZrB2復(fù)合陶瓷溫度傳感器或者是ZrC復(fù)合陶瓷溫度傳感器,提高了測溫的精度高;
4)爐體內(nèi)分隔成四個溫度場,通過熱電偶監(jiān)測四個溫度場的溫度并進行調(diào)節(jié),以使其具有較的溫度梯度,從而準(zhǔn)確控制固液界面溫度,提高晶體生長的較熱場方式,進而找到晶體生長較途徑,以利于提高晶體生長速度和晶體生長質(zhì)量;
5)通過坩堝升降裝置和籽晶棒升降裝置配合,使得坩堝內(nèi)氧化鋁熔體的液面(即晶體生長部位)始終保持在一個位置,以便于*控制其溫度,從而利于晶體的生長。
四、藍寶石晶體生長爐產(chǎn)品型號
產(chǎn)品型號 | 升降比 | 坩堝尺寸mm | 額定溫度 | 功率 | 重量 | 速質(zhì)比 |
SGM.AF40/20 | 1.01-1.08 | Ø200*350 | 400-600℃ | 12KW | 20kg | 80/90% |
SGM.AF70/35 | 1.01-1.08 | Ø250*400 | 400-600℃ | 15KW | 35kg | 80/90% |
SGM.AF120/55 | 1.01-1.08 | Ø300*450 | 400-600℃ | 18KW | 55kg | 80/90% |
SGM.AF180/90 | 1.01-1.08 | Ø350*500 | 400-600℃ | 20KW | 90kg | 80/90% |
SGM.AF250/140 | 1.01-1.08 | Ø400*550 | 400-600℃ | 25KW | 140kg | 80/90% |