日本advance riko風(fēng)冷桌面型快速退火爐MILA-700AR
用途
晶圓,復(fù)合晶圓的快速加熱
光化學(xué)氣相沉積襯底加熱
熱循環(huán)測試
涂膜的耐熱性評估
有機材料和樹脂的加熱和干燥
特長
50°C / s快加熱
可在真空,惰性氣體,流動氣氛,空氣的氣氛下進行加熱
精確的溫度控制
緊湊的臺式設(shè)計
仕様
控溫范圍 | RT ~ 700 °C |
---|---|
樣品尺寸 | □ 或φ20mm x 2mm (T) |
加熱氣氛 | 真空,靜態(tài)氣氛,流動氣氛,空氣 |
日本advance riko風(fēng)冷桌面型快速退火爐MILA-700AR
用途
晶圓,復(fù)合晶圓的快速加熱
光化學(xué)氣相沉積襯底加熱
熱循環(huán)測試
涂膜的耐熱性評估
有機材料和樹脂的加熱和干燥
特長
50°C / s快加熱
可在真空,惰性氣體,流動氣氛,空氣的氣氛下進行加熱
精確的溫度控制
緊湊的臺式設(shè)計
仕様
控溫范圍 | RT ~ 700 °C |
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樣品尺寸 | □ 或φ20mm x 2mm (T) |
加熱氣氛 | 真空,靜態(tài)氣氛,流動氣氛,空氣 |
日本advance riko風(fēng)冷桌面型快速退火爐MILA-700AR