產(chǎn)品概述
說明：
此系統(tǒng)是卓立漢光推出的針對半導(dǎo)體晶圓進行微操作、檢驗的通用開發(fā)平臺。系統(tǒng)中包括：半導(dǎo)體晶圓裝夾單元、半導(dǎo)體晶圓對位單元、機器視覺單元和微操作機械手單元，配套有完整的運動控制系統(tǒng)和機器視覺軟件。可以根據(jù)客戶不同的需求，實現(xiàn)對半導(dǎo)體晶圓進行裝夾、對位、轉(zhuǎn)印、清潔、檢驗等功能。
半導(dǎo)體晶圓微操作、檢驗設(shè)備特點：
- 系統(tǒng)包含完整的裝夾和對位結(jié)構(gòu)，可以根據(jù)客戶實際需求定制
- 控制系統(tǒng)和機器視覺系統(tǒng)留有二次開發(fā)接口
- 兼容客戶不同的晶圓結(jié)構(gòu)，不同的Mark點圖形、進行不同的操作動作
- 可對半導(dǎo)體晶圓進行多維度微步調(diào)整
- 多工位配置，提高工作效率
系統(tǒng)參數(shù)：（本系列產(chǎn)品為設(shè)計規(guī)格，技術(shù)指標(biāo)以最終發(fā)布內(nèi)容為準(zhǔn)）
| 指標(biāo) | 參數(shù) |
| 機器視覺分辨率(μm) | 0.1 |
| 顯微鏡倍率 | 0.5~4.5 |
| 攝像頭分辨率 | 2048×1536 |
| 幀率（fps） | 15 |
| 攝像頭類型 | 單色 |
| 光源 | 單色同軸光源 |
| Mark點識別重復(fù)性(μm) | 0.1 |
| Mark點識別對位精度(μm) | <0.5 |
| 大行程X軸滑臺行程（mm） | 400 |
| 大行程Y軸滑臺行程（mm） | 200 |
| 大行程重復(fù)定位精度（μm） | 1 |
| 大行程運動分辨率（μm） | ±1 |
| 精密對位X軸滑臺行程（mm） | 10 |
| 精密對位Y軸滑臺行程（mm） | 10 |
| 精密對位Z軸滑臺行程（mm） | 20 |
| 精密對位線性維度單向重復(fù)定位精度（μm） | ±1 |
| 精密對位線性運動分辨率（μm） | 0.1 |
| 精密對位θZ軸滑臺行程（°） | 5 |
| 晶圓工位（個） | 2 |
| 晶圓真空吸附通道（路） | 4 |
