日本twin nines納米表面粗糙度測(cè)量?jī)xNano Seven
Nanoseven 可以通過使用激光的非接觸式方法,在短時(shí)間內(nèi),在大范圍內(nèi)以亞納米級(jí)精度測(cè)量待測(cè)物體的表面粗糙度和臺(tái)階高度。
引入 nanoseven 的 7 個(gè)好處
特點(diǎn) 1 縮短測(cè)量時(shí)間
只需 25 秒即可測(cè)量 100 µm x 100 µm 區(qū)域的表面粗糙度。*以 3µm 間距測(cè)量時(shí)。
AFM 通常需要大約 15 分鐘。
特點(diǎn) 2 寬范圍測(cè)量
Nanoseven 的測(cè)量范圍取決于樣品臺(tái)的可移動(dòng)區(qū)域。由于它可以在 X 軸(水平軸)上最多移動(dòng) 45 毫米,在 Y 軸(深度軸)上最多移動(dòng) 45 毫米,因此理論上可以在此范圍內(nèi)一次測(cè)量。此外,可以對(duì)樣品臺(tái)進(jìn)行大規(guī)模改造,從而可以測(cè)量更廣泛的范圍。
特殊功能 3 無(wú)需防震臺(tái)
Nanoseven采用的“光學(xué)外差干涉測(cè)量系統(tǒng)”不使用干涉條紋進(jìn)行測(cè)量,不像一般的白光干涉測(cè)量,因此它可以抵抗外部干擾的噪聲,并且不需要防振臺(tái)。
特點(diǎn) 4 輕松測(cè)量
原則上,不需要對(duì)測(cè)量對(duì)象進(jìn)行特殊預(yù)處理。此外,不使用真空設(shè)備。它具有易于操作的設(shè)計(jì),無(wú)需專門的操作員即可操作。
特點(diǎn) 5 高分辨率
Nanoseven 使用光學(xué)外差干涉法,這是一種基于光波長(zhǎng)相位差的測(cè)量方法,因此可以以 0.1 nm(納米)或更小的高度分辨率進(jìn)行測(cè)量。
特點(diǎn) 6 非接觸式測(cè)量
Nanoseven 是一種使用紅色激光的非接觸式測(cè)量?jī)x器,因此不會(huì)對(duì)被測(cè)物體產(chǎn)生不利影響。此外,由于它是非接觸式的,因此與接觸式測(cè)量?jī)x器相比,可以進(jìn)行高速測(cè)量。激光輸出只有幾毫瓦,是一種節(jié)能安全的設(shè)計(jì)。
特點(diǎn)7 運(yùn)行成本低
安裝時(shí)無(wú)需隔振臺(tái)或真空設(shè)備等附帶設(shè)備,幾乎沒有耗材,購(gòu)買后可降低運(yùn)行成本。此外,由于不需要專門的操作員,也有助于降低人工成本。
日本twin nines納米表面粗糙度測(cè)量?jī)xNano Seven
規(guī)格
規(guī)格 表 | |
高度方向分辨率 | 0.1 納米(納米) |
標(biāo)準(zhǔn)高度測(cè)量范圍 | 0.5nm 至 300nm |
測(cè)量方法 | 非接觸式 |
行程 [*1] | X:45mm / Y:45mm |
光源 | 氦氖激光(632.8nm) |
物鏡 | 放大倍率 20X / NA 0.4 |
電源 | AC100V |
體重 | 約27公斤 |
配件 | 噪聲濾波器 |
外形尺寸 | 機(jī)身:W220×D550×H420mm 控制箱:W172×D350×H315mm |