通過(guò)高畫(huà)質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“匠心”。
日立高新鎢燈絲掃描電鏡SU3500具有實(shí)現(xiàn)了“3kV加速電壓7nm分辨率”的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”*1, 以及更高檢測(cè)效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測(cè)器”*1。
它為觀察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。
*1:自選
特點(diǎn)
低加速電壓觀察時(shí)分辨率更高,可更好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比*2,自動(dòng)功能縮短*3了大約11秒
具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測(cè)器)”*4
具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”*4
(*2):和日立SEM S-3400N相比
(*3):根據(jù)觀察條件的不同,時(shí)間會(huì)有變動(dòng)
(*4):自選
規(guī)格
項(xiàng)目 | 描述 | |
二次電子分辨率 | 3.0nm(加速電壓=30kV,WD=5mm高真空模式) | |
7.0nm(加速電壓=3kV,WD=5mm高真空模式) | ||
背散射電子分辨率 | 4.0nm(加速電壓=30kV,WD=5mm低真空模式) | |
10.0nm(加速電壓=5kV,WD=5mm高真空模式) | ||
放大倍率 | 5 - 300,000倍(底片倍率*5) | |
7 - 800,000倍(顯示器顯示倍率*6) | ||
加速電壓 | 0.3 - 30kV | |
可變壓力范圍 | 6 - 650Pa | |
樣品尺寸 | 直徑 200mm | |
樣品臺(tái) | X | 0 - 100mm |
Y | 0 - 50mm | |
Z | 5 - 65mm | |
R | 360° | |
T | -20° - 90° | |
可觀察區(qū)域 | 直徑 130mm (旋轉(zhuǎn)并用) | |
樣品高度 | 80mm(WD=10mm) | |
馬達(dá)臺(tái) | 5軸標(biāo)配 | |
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 預(yù)對(duì)中的鎢燈絲 |
物鏡光闌 | 4孔可動(dòng)光闌 | |
探檢測(cè)器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測(cè)器 | |
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器 | ||
EDX分析 WD | 10mm(取出角35°) | |
圖像顯示 | 操作系統(tǒng) | Windows® 7*7(如有更改,恕不另行通知) |
圖像顯示模式 | 全屏模式(1,280 × 960 像素) | |
小屏模式(800 × 600 像素) | ||
雙圖像顯示(800 × 600 像素) | ||
四屏幕顯示(640 × 480像素) | ||
信號(hào)混合模式 | ||
排氣系統(tǒng) | 操作 | 全自動(dòng)排氣 |
渦輪分子泵 | 210升/秒 × 1 | |
機(jī)械泵 | 135L/min(162L/min,60Hz)× 1 |