多表面測量
Verifire™ MST激光干涉儀提供了一個(gè)的嶄新的測量方式和能力,傳統(tǒng)的激光干涉儀應(yīng)用是測量兩個(gè)面的波前變化,也就是說測量一個(gè) 由兩個(gè)面所形成的腔。
但是,如果所測量的是一個(gè)沒有經(jīng)過鍍膜的平行平板,則就會產(chǎn)生兩個(gè)疊加的干涉條紋(三個(gè)面的腔所形成),這樣就會干擾標(biāo)準(zhǔn)的位相干涉測量分析。
現(xiàn)在,ZYGO的Verifire™ MST激光干涉儀解決了這一個(gè)問題,通過波長調(diào)制技術(shù)和ZYGO新的傅立葉變換方法,可以進(jìn)行三個(gè)甚至四個(gè)平行面的測量,不僅可以顯示所有的面,并且可以排除其他的面而單獨(dú)顯示你所需要的面。
三平面干涉測量
激光干涉儀可以在你的測量中,只要一次數(shù)據(jù)采集,就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度,同時(shí)還能得到平行平板的光學(xué)厚度:
• 前表面形貌圖
• 光學(xué)厚度變化
• 物理厚度變化和后表面形變
四表面干涉測量
這一技術(shù)能夠通過兩次數(shù)據(jù)采集得到下列結(jié)果:
• 前表面和后表面的形貌圖
• 物理厚度變化
• 光學(xué)厚度變化
• 折射率變化
- 非線性材料均勻性
- 線性材料均勻性
多表面樣品測量快速、簡單和質(zhì)量提升
同時(shí)測量表面形變和光學(xué)厚度變化
平行平板兩側(cè)測量就可以得到其均勻性:
• 不需要涂油就可以進(jìn)行安全、快速測量
• 兩次測量不需要進(jìn)行調(diào)整
新型的線性材料均勻性測量
快速測量,只需要幾分鐘而不是幾個(gè)小時(shí)