美國ZYGO 3D外表輪廓儀NewView 7300
NewView 7300外表輪廓儀以其的精細(xì)度和準(zhǔn)確度定性和定量地反映出樣品的外表粗糙度、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸以及樣品的描摹。丈量進(jìn)程精細(xì)，高速，非接觸，且樣品無需特殊處理。在高速掃描狀態(tài)下縱向丈量規(guī)?？梢詮男∮?nm至20000μm，基于ZYGO 的掃描技術(shù)，無論怎樣的外表描摹，放大倍數(shù)以及臺階特性，NewView 7300只需一次掃描即可到達(dá)0.1nm的縱向分辨率，并取得所有的被測參數(shù)，我們還有三坐標(biāo)檢測儀等儀器，請繼續(xù)關(guān)注。
體系參數(shù):
◆原理: 非接觸、三維白光掃描干涉儀
◆掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷，高線性電容傳感器,
◆視場擴(kuò)大倍率：高質(zhì)量分立擴(kuò)大倍率鏡頭：0.5×,0.75倍率: ×,1.0×,1.5×,2.0×
◆成像擴(kuò)大: 電動3 位體系成像擴(kuò)大
◆視場:0.03-14mm，跟物鏡和擴(kuò)大倍率有關(guān),運(yùn)用圖像拼接技能可以得到更大規(guī)模
◆光源: 均勻成像，高效率，特別設(shè)計(jì)長壽命白光LED物鏡座標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具
◆控制 :濾光板托架，視場光闌（輔助聚集）
◆丈量陣列:標(biāo)配640×480 像素；640×480，320×240，160×120 像素,可選更高分辨率992×999
◆樣件調(diào)查: 專用液晶顯示屏實(shí)時(shí)調(diào)查
◆精細(xì)聚集 :電控手動和主動聚集
◆Z 軸驅(qū)動:直流無刷微步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動，200mm 行程,0.1μm 精度
◆尺寸:157×132×89cm ，NewView：81×58×41cm ，防振臺：76X61X61,工作臺：85X132X89cm
◆重量 :體系重量：約430Kg
◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz
◆計(jì)算機(jī): 帶液晶顯示器的高性能DELL 計(jì)算機(jī)
◆軟件:ZYGO MetroPro 軟件
◆物鏡座: 可快速裝卸單物鏡夾具 ,選件:手動6 位塔臺；電控 6 位塔臺；
◆樣品臺:手動,俯仰(±6°)和XY 平移(±50mm),電動,俯仰(±4°)和XY 平移(±76mm)電動, 俯仰( ± 4 ° )X-Theta (orY-Theta）和XY 平移(±76mm) 三種可選
◆縱向掃描:150μm，拓展掃描形式可到20mm,
◆縱向分辨率 ＜0.1nm,橫向分辨率 0.36～9.5μm，與所選物鏡有關(guān),
◆掃描速度 ≤135μm/sec,與所選的CCD 和掃描形式有關(guān)
◆zui大數(shù)據(jù)點(diǎn): 規(guī)范307200；可選984064；
◆RMS 重復(fù)性 ＜0.01 nm， RMSσ
◆臺階丈量 :準(zhǔn)確度 ≤ 0.75% ;重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ
◆測樣品特性:各種資料的表面：透明，不透明，鍍膜,非鍍膜，反射，弱反射
◆zui大尺寸: 89×203×203mm(高×寬×長);反射率: 1-
