•  適合高真空環(huán)境使用：不銹鋼質本體
• 抗腐蝕

   

• 使用PTFE（聚四氟乙烯）制作的本體也可以提供

   

• 適合對于腐蝕性氣體的使用

   

 

當排氣端流量被調整到的位置：

• 抗蝕劑是以一層均勻的薄膜方式分布的

   

• 阻止了噴霧的次級沉積

   

• 阻止了危險水蒸氣的擴散

  此外，與流量傳感器控制方式相比較而言，因抗蝕劑和其他污染物堆積對本產(chǎn)品造成的影響更小

  此產(chǎn)品屬于受日本法律管制的出口品（列于控制清單之上）。在從日本出口到海外或者供應給非日本企業(yè)前，必需從日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省的相關部門獲得出口許可證件。