Automegasamdri-916B, Series C 臨界點干燥儀
特點:
8”圓晶MEMS釋放后的立式超臨界點干燥儀;
內部高效隔熱的冷卻循環(huán)系統(tǒng),使系統(tǒng)能夠迅速從室溫降到將近0°C;
Post-Purge 過濾器容易更換及維護;
內置SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
的樣品室填塊可以調整樣品室內徑到6”、4"、3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和處理時間達到;
可以一次干燥5片直徑為8”的圓晶,更換樣品架,也可以一次干燥5片直徑6”、4”、3”、2”的圓晶或5片邊長為10mm的方晶(提供HF兼容的樣品架);
內腔有照明燈,樣品室蓋子帶觀察窗,便于觀察樣品室內部狀態(tài);
通過微處理控制器來保證自動處理過程的進行及結果的可重復性;
所有內表面均適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮;
可重復設定的操作參數確保了結果的可重復性;
集成自動控溫;
內置圓盤裂片保證安全;
靜態(tài)壓力控制模塊,自動控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性;
0.4μm內部過濾器系統(tǒng)輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室;
每個操作模式LED顯示,一目了然;
潔凈室和防靜電兼容設計;
所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準;
規(guī)格:
外部尺寸:寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm);
安裝占地尺寸:寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm);
樣品室尺寸:內徑8.50” × 深1.25”,樣品室容積:1162 ml;
溫度范圍:- 30 ℃ 至 60 ℃,壓力范圍:0 - 2000 psi;
LCO2的流速是通過帶游標卡尺的微型微型計量閥門來控制;
120V/50-60HZ(可選其他電壓);
標準配件:
高壓不銹鋼LCO2管(內襯Teflon) 3 米長;
外部LCO2過濾裝置,去除水/油以及顆粒(小至0.5μm),過濾裝置可預先與LCO2管連接,安裝方便;
安裝工具;
防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣;
內部的不銹鋼過濾系統(tǒng)和鍍鎳的過濾系統(tǒng)共同保護線路、晶片和閥門
樣品室O型圈3個,樣品室照明燈2個,3A和8A保險絲各2個;
5個Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括8、6、4、3、2和1.25英寸;
直徑為8、6、4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容;
流量計,可精確控制BLEED的排氣速率;
用戶手冊;
所有部件一年質保。