緊湊型等離子清洗機主要特點:
1.使用各種氣體清洗和去除晶片上的納米級有機污染物,至多可容納2"。
2.涂層前預清洗單晶基板的優(yōu)良工具,可獲得更好的薄膜質量。
3.鉸鏈式門,便于樣品裝載。
4.3"直徑石英腔室,適用于清潔2”晶圓,可選配石英舟。
5.石英室內的可移動石英管易于清潔和更換。
緊湊型等離子清洗機技術參數(shù):
射頻功率 | 射頻功率(線圈上施加的高壓和高頻電流)可在三個級別調節(jié):
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等離子室 | ?3"直徑×6.5"長的石英室 ?700 mL容量 ?高純度石英室比玻璃具有更長的使用壽命 | ||||||||||||
真空計和顯示器 | ?Stinger壓力表安裝在鉸鏈門上。 ?1/8”NPT針閥,可定性控制氣體流量和腔室壓力。 ?1/8”NPT三通閥,可快速切換出氣體,隔離腔室和排氣。 | ||||||||||||
真空泵 | 包括一個雙級旋片式真空泵 | ||||||||||||
輸入功率 | AC 208 - 240V, 50/60Hz,單相 | ||||||||||||
工作氣體 | ?可以選擇許多惰性氣體進行等離子體清潔,例如N2,Ar,空氣和混合氣體取決于將要處理的材料類型。 ?可以使用<5%H2混合惰性氣體 ?等離子清潔器不得使用。 | ||||||||||||
整體尺寸 |
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凈重 | 40磅 | ||||||||||||
保證 | 一年有限保修,終身支持(耐熱玻璃室無保修) |