主要性能指標(biāo)
1:主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)
2:內(nèi)腔采用易清潔、耐腐蝕的超高分子材料(HDPE)
3:旋涂程序:*多可存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可**到0.1秒
4:旋涂速度:0-10000rpm
5:旋涂加速度:0-50000rpm/s
6:馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差:<±1rpm(CY-AC200-SE);<±0.1rpm(CY-AC200-PE)
7:轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度及重復(fù)性:1rpm(CY-AC200-SE);0.1rpm(CY-AC200-PE)
8:CY-AC200-PE另帶真空數(shù)字顯示、開關(guān)壓力調(diào)節(jié)和電子水平顯示功能
9:工藝時(shí)間設(shè)定:0-3000sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec
10:支持wafer尺寸:碎片至200mm(8''圓晶)
11:旋涂作業(yè)均勻性:<±3%在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米測量)
產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)
1:*新的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸
2:采用7英寸觸摸屏控制面板,操作更加便捷
3:采用“密閉碗”設(shè)計(jì),可以適應(yīng)各種材料的勻膠工藝。
4:標(biāo)準(zhǔn)配置的轉(zhuǎn)速為10000rpm,可以根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制
5:采用工業(yè)級的伺服電機(jī),電機(jī)的設(shè)計(jì)可以避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部
6:機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。
7:排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺的底部,利于排風(fēng)效率和勻膠的均一性
8:透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。