貨號

SV-C3200S4

SV-C3200H4

SV-C3200W4

SV-C3200S8

SV-C3200H8

SV-C3200W8

SV-C4500S4

SV-C4500H4

SV-C4500W4

SV-C4500S8

SV-C4500H8

SV-C4500W8

? 測量表面粗糙度時

測量范圍

X軸(驅動部）

100mm

200mm

Z1軸(檢出器）

800μm/80μm/8μm

直線度

(0.05+L/1000)μm L:驅動長度(mm）

0.5μm/200mm

分辨力

Z1軸(檢出器）

0.01μm ( 800μm ) , 0.001μm ( 80μm ) , 0.0001μm ( 8μm

測力

0.75mN  ( 機身代碼末尾帶 "-1" 的型號 )

4mN  (機身代碼末尾帶 "-2" 的型號）

測針針尖形狀

60o, 2μmR  ( 機身代碼末尾帶 "-1" 的型號 )

90o, 5μmR  ( 機身代碼末尾帶 "-2" 的型號 ）

對應尺寸

JIS1982/ JIS1994/ JIS2001/ ISO1997/ ANSI/ VDA

評價參數(shù)

Pa,Pq,Psk,Pku,Pp,Pv,Pz,Pt,Pc,PSm,Pq,Pmr(C),Pmr,Pc,Ra,Rq,Rsk,Rku,Rp,Rv,Rz,

Rt,Rc,RSm,Rq,Rmr(C),Rmr,Rc,Wa,Wq,Wsk,Wku,Wp,Wv,Wz,Wt,Wc,WSm,Wq,

Wmr(C),Wmr,Wc,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rx,AR,R,Wx,AW,W,Wte,Ry,RyDIN,

RzDIN,R3y,R3z,S,HSC,Lo,Ir,a,a,q,Vo,Htp,NR,NCRX,CPM,SR,SAR,NW,SW,SAW

評價輪廓

原始輪廓、粗糙度輪廓、濾波波紋輪廓、波紋輪廓、滾動圓波形原始輪廓、滾動圓波形輪廓、包絡殘余線、 DF  輪廓 ( DIN4776 / ISO13565-1 ) 、表面粗糙度 MOTIF(包絡波紋輪廓在評價 MOTIF 時顯示）

分析圖

負荷曲線、振幅分布曲線、功率譜、自相關、 Walsh  功率譜、 Walsh  自相關、分布、傾斜角分布、參數(shù)分布(磨損量、重疊在輪廓分析可以用于面積等的原始分析）

曲線補償

最小平方直線、 R  面補償、橢圓補償、拋物線補償、雙曲線補償、二次曲線補償、多項式補償 ( 自動或任意 2~7  次 ) 、無補償

曲線補償

高斯濾波器 , 2CRPC75, 2CRPC50, 2CR75, 2CR50,  魯棒樣條濾波器

?  輪廓測量

測量范圍

X軸(驅動部）

100mm

200mm

Z1軸(檢出器）

60mm  ( 測臂水平位置 ±30mm

直線度

0.8μm/100mm

2μm/200mm

精度

X軸(驅動部)

Z1軸(檢出器）

SV-C3200系列:±(1.6+|2H|/100)μm,SV-C4500系列:±(0.8+|2H|/100)μm

H:  水平位置上的測量高度 ( mm )

分辨力

X軸(驅動部）

0.05 μm

Z1軸(檢出器）

SV-C3200  系列 : 0.04μm, SV-C4500  系列 : 0.02μm

Z2軸(立柱）

1 μm

測力

SV-C3200  系列 : 30mN  ( 可調使用重量 ）

SV-C4500  系列 : 10, 20, 30, 40, 50mN  ( 根據(jù)軟件轉換 ）

測頭方向

SV-C3200  系列 :  垂直方向 ( 向上 /  向下單獨測量 )

SV-C4500  系列 :  垂直方向 ( 向上 /  向根據(jù)配重調整 ）

?  通用時

Z2軸(立柱)移動量

300mm

500mm

300mm

500mm

X 軸傾斜角度

±45o

驅動速度

X軸

0 - 80mm/s  外加手動

Z2軸(立柱)

0 - 30mm/s  外加手動

測量速度

0.02 - 5mm/s